Thuis > Producten > Tantaalcarbide coating

China Tantaalcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.


De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.


TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:


Excellent properties of TaC coating graphite


De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.


Belangrijkste kenmerken:

 ●Temperatuurstabiliteit

 ●Ultrahoge zuiverheid

 ●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

 ●Weerstand tegen thermische voorraad

 ●Sterke hechting op grafiet

 ●Conforme coatingdekking

 Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)


Toepassingen:

 ●Wafeldrager

 ● Inductieve verwarmingskroes

 ● Resistief verwarmingselement

 ●Satelliet schijf

 ●Douchekop

 ●Geleidingsring

 ●LED Epi-ontvanger

 ●Injectie mondstuk

 ●Maskerende ring

 ● Hitteschild


Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte 14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit 0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt 6.3 10-6/K
Hardheid (HK) 2000 Hongkong
Weerstand 1×10-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit <2500℃
Grafietgrootte verandert -10~-20um
Dikte van de coating ≥20um typische waarde (35um±10um)


TaC-coating EDX-gegevens

EDX data of TaC coating


TaC-coating kristalstructuurgegevens:

Element Atoom procent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gemiddeld
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Hen 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC-gecoate geleidingsring

TaC-gecoate geleidingsring

TaC gecoate geleidering is gemaakt van hoogwaardige grafiet- en TaC-coating. Bij de bereiding van SiC-kristallen met behulp van de PVT-methode wordt de TaC-gecoate geleidingsring van VeTek Semiconductor voornamelijk gebruikt om de luchtstroom te geleiden en te controleren, het groeiproces van één kristal te optimaliseren en de opbrengst van één kristal te verbeteren. Dankzij de uitstekende TaC-coatingtechnologie hebben onze producten een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand en goede mechanische eigenschappen. Wij zijn oprecht blij met uw advies en kijken ernaar uit u meer gedetailleerde productinformatie en technische ondersteuning te bieden.

Lees verderStuur onderzoek
Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf

Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijven in China, die zich al vele jaren richt op TaC-coatingtechnologie. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, die algemeen worden erkend door fabrikanten van halfgeleiders. VeTek Semiconductor Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf is de ruggengraat geworden van de wafer-epitaxie-industrie. Wij kijken ernaar uit om met u een langdurige samenwerking aan te gaan om gezamenlijk de technologische vooruitgang en productieoptimalisatie te bevorderen.

Lees verderStuur onderzoek
TaC-gecoate grafietwafeldrager

TaC-gecoate grafietwafeldrager

VeTek Semiconductor heeft zorgvuldig TaC Coated Graphite Wafer Carrier voor klanten ontworpen. Het is samengesteld uit zeer zuivere grafiet- en TaC-coating, die geschikt is voor verschillende epitaxiale wafelverwerking. Wij zijn al jaren gespecialiseerd in SiC- en TaC-coating. Vergeleken met SiC-coating heeft onze TaC-gecoate grafietwafeldrager een hogere temperatuurbestendigheid en slijtvast. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verderStuur onderzoek
Als professionele Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Tantaalcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept