VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.
De belangrijkste producten zijnTaC-gecoate geleidingsring, CVD TaC-gecoate geleidingsring met drie bloembladen, Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan, CVD TaC-coating planetaire SiC epitaxiale susceptor, Tantaalcarbide coatingring, Tantaalcarbide gecoat poreus grafiet, TaC Coating Rotatie Susceptor, Tantaalcarbide ring, Rotatieplaat met TaC-coating, TaC gecoate wafer susceptor, TaC-gecoate deflectorring, CVD TaC-coatingafdekking, TaC-gecoate boorkopenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.
TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:
De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het PVT-methode SiC-kristalgroeiproces.
●Temperatuurstabiliteit
●Ultrahoge zuiverheid
●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si
●Weerstand tegen thermische voorraad
●Sterke hechting op grafiet
●Conforme coatingdekking
● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)
● Inductieve verwarmingskroes
● Resistief verwarmingselement
● Hitteschild
Fysische eigenschappen van TaC-coating | |
Dikte | 14,3 (g/cm³) |
Specifieke emissiviteit | 0.3 |
Thermische uitzettingscoëfficiënt | 6.3 10-6/K |
Hardheid (HK) | 2000 Hongkong |
Weerstand | 1×10-5Ohm*cm |
Thermische stabiliteit | <2500℃ |
Grafietgrootte verandert | -10~-20um |
Dikte van de coating | ≥20um typische waarde (35um±10um) |
Element | Atoom procent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gemiddeld | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Hen | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
TaC gecoate geleidering is gemaakt van hoogwaardige grafiet- en TaC-coating. Bij de bereiding van SiC-kristallen met behulp van de PVT-methode wordt de TaC-gecoate geleidingsring van VeTek Semiconductor voornamelijk gebruikt om de luchtstroom te geleiden en te controleren, het groeiproces van één kristal te optimaliseren en de opbrengst van één kristal te verbeteren. Dankzij de uitstekende TaC-coatingtechnologie hebben onze producten een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand en goede mechanische eigenschappen. Wij zijn oprecht blij met uw advies en kijken ernaar uit u meer gedetailleerde productinformatie en technische ondersteuning te bieden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijven in China, die zich al vele jaren richt op TaC-coatingtechnologie. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, die algemeen worden erkend door fabrikanten van halfgeleiders. VeTek Semiconductor Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf is de ruggengraat geworden van de wafer-epitaxie-industrie. Wij kijken ernaar uit om met u een langdurige samenwerking aan te gaan om gezamenlijk de technologische vooruitgang en productieoptimalisatie te bevorderen.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor heeft zorgvuldig TaC Coated Graphite Wafer Carrier voor klanten ontworpen. Het is samengesteld uit zeer zuivere grafiet- en TaC-coating, die geschikt is voor verschillende epitaxiale wafelverwerking. Wij zijn al jaren gespecialiseerd in SiC- en TaC-coating. Vergeleken met SiC-coating heeft onze TaC-gecoate grafietwafeldrager een hogere temperatuurbestendigheid en slijtvast. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek