VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.
De belangrijkste producten zijnTantaalcarbide coating defectorring, TaC gecoate afleidingsring, TaC gecoate halvemaandelen, Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf (Aixtron G10), TaC gecoate smeltkroes; TaC-gecoate ringen; TaC-gecoat poreus grafiet; Tantaalcarbide coating Grafiet Susceptor; TaC-gecoate geleidingsring; TaC tantaalcarbide gecoate plaat; TaC-gecoate wafer susceptor; TaC-coatingring; TaC-coating Grafietafdekking; TaC-gecoate brokenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.
TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:
De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het SiC-kristalgroeiproces van de PVT-methode.
●Temperatuurstabiliteit
●Ultrahoge zuiverheid
●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si
●Weerstand tegen thermische voorraad
●Sterke hechting op grafiet
●Conforme coatingdekking
● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)
● Inductieve verwarmingskroes
● Resistief verwarmingselement
● Hitteschild
Fysische eigenschappen van TaC-coating | |
Dikte | 14,3 (g/cm³) |
Specifieke emissiviteit | 0.3 |
Thermische uitzettingscoëfficiënt | 6.3 10-6/K |
Hardheid (HK) | 2000 Hongkong |
Weerstand | 1×10-5Ohm*cm |
Thermische stabiliteit | <2500℃ |
Grafietgrootte verandert | -10~-20um |
Dikte van de coating | ≥20um typische waarde (35um±10um) |
Element | Atoom procent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gemiddeld | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Hen | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
De CVD TaC-coatingring van VeTek Semiconductor is een zeer voordelig onderdeel dat is ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van siliciumcarbide (SiC)-kristalgroeiprocessen. De CVD TaC-coatingring biedt uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid, waardoor het een ideale keuze is voor omgevingen die worden gekenmerkt door hoge temperaturen en corrosieve omstandigheden. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw partner voor de lange termijn te zijn in China.
Lees verderStuur onderzoekLPE SiC Epi Halfmoon van VeTek Semiconductor, een revolutionair product ontworpen om SiC-epitaxieprocessen in LPE-reactoren te verbeteren. Deze geavanceerde oplossing beschikt over verschillende belangrijke kenmerken die superieure prestaties en efficiëntie tijdens uw productieactiviteiten garanderen. Ik kijk ernaar uit om een langdurige samenwerking met u op te zetten.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van TaC-coatings en SiC-coating grafietonderdelen. Wij zijn gespecialiseerd in de productie van geavanceerde LED EPI-susceptors, essentieel voor LED-epitaxieprocessen. Met een sterke focus op innovatie en kwaliteit bieden wij betrouwbare oplossingen die voldoen aan de strenge eisen van de LED-industrie. Neem vandaag nog contact met ons op om uw vragen te bespreken en ontdek hoe onze producten uw productieprocessen kunnen verbeteren.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een allesomvattende leverancier die zich bezighoudt met onderzoek, ontwikkeling, productie, ontwerp en verkoop van TaC-coatings en SiC-coatingonderdelen. Onze expertise ligt in de productie van ultramoderne MOCVD-susceptoren met TaC-coating, die een cruciale rol spelen in het LED-epitaxieproces. Wij heten u welkom om met ons vragen en verdere informatie te bespreken.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een geïntegreerde leverancier die zich bezighoudt met onderzoek en ontwikkeling, productie, ontwerp en verkoop van TaC-coatings. Wij zijn gespecialiseerd in de productie van geavanceerde TaC-gecoate UV-LED-susceptors, die cruciale componenten zijn in het LED-epitaxieproces. Onze TaC-gecoate diepe UV-LED-susceptor biedt een hoge thermische geleidbaarheid, hoge mechanische sterkte, verbeterde productie-efficiëntie en epitaxiale waferbescherming. Welkom bij ons.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is de toonaangevende fabrikant en leverancier in China voor Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, wij zijn gespecialiseerd in R&D en productie, kunnen de kwaliteit goed controleren en een concurrerende prijs bieden. U bent van harte welkom om onze fabriek te bezoeken voor verdere discussie over een langdurige samenwerking.
Lees verderStuur onderzoek