VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.
De belangrijkste producten zijnTantaalcarbide coating defectorring, TaC gecoate afleidingsring, TaC gecoate halvemaandelen, Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf (Aixtron G10), TaC gecoate smeltkroes; TaC-gecoate ringen; TaC-gecoat poreus grafiet; Tantaalcarbide coating Grafiet Susceptor; TaC-gecoate geleidingsring; TaC tantaalcarbide gecoate plaat; TaC-gecoate wafer susceptor; TaC-coatingring; TaC-coating Grafietafdekking; TaC-gecoate brokenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.
TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:
De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het SiC-kristalgroeiproces van de PVT-methode.
●Temperatuurstabiliteit
●Ultrahoge zuiverheid
●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si
●Weerstand tegen thermische voorraad
●Sterke hechting op grafiet
●Conforme coatingdekking
● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)
● Inductieve verwarmingskroes
● Resistief verwarmingselement
● Hitteschild
Fysische eigenschappen van TaC-coating | |
Dikte | 14,3 (g/cm³) |
Specifieke emissiviteit | 0.3 |
Thermische uitzettingscoëfficiënt | 6.3 10-6/K |
Hardheid (HK) | 2000 Hongkong |
Weerstand | 1×10-5Ohm*cm |
Thermische stabiliteit | <2500℃ |
Grafietgrootte verandert | -10~-20um |
Dikte van de coating | ≥20um typische waarde (35um±10um) |
Element | Atoom procent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gemiddeld | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Hen | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
De TaC Coating Rotation Plate van VeTek Semiconductor beschikt over een uitstekende TaC-coating. Met zijn uitzonderlijke TaC-coating beschikt de TaC Coating Rotation Plate over een opmerkelijke weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid, waardoor deze zich onderscheidt van traditionele oplossingen. We zijn toegewijd aan het leveren van kwaliteitsproducten tegen concurrerende prijzen. prijzen en kijk ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoekDe TaC-coatingplaat van VeTek Semiconductor is een opmerkelijk product dat uitzonderlijke eigenschappen en voordelen biedt. Onze TaC Coating Plate is met precisie ontworpen en tot in de perfectie ontwikkeld en is specifiek op maat gemaakt voor verschillende toepassingen in monokristallijne groeiprocessen van siliciumcarbide (SiC). De nauwkeurige afmetingen en robuuste constructie van de TaC Coating Plate maken hem eenvoudig te integreren in bestaande systemen, waardoor naadloze compatibiliteit wordt gegarandeerd en efficiënte werking. De betrouwbare prestaties en hoogwaardige coating dragen bij aan consistente en uniforme resultaten bij SiC-kristalgroeitoepassingen. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner i......
Lees verderStuur onderzoekDe CVD TaC-coatingafdekking geleverd door VeTek Semiconductor is een zeer gespecialiseerd onderdeel dat speciaal is ontworpen voor veeleisende toepassingen. Met zijn geavanceerde kenmerken en uitzonderlijke prestaties biedt onze CVD TaC-coatinghoes verschillende belangrijke voordelen. Onze CVD TaC-coatinghoes biedt de noodzakelijke bescherming en prestaties die nodig zijn voor succes. We kijken ernaar uit om mogelijke samenwerking met u te verkennen!
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor is een uitzonderlijk product voor Aixtron-epitaxieapparatuur. De robuuste TaC-coating biedt uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid. Deze unieke combinatie zorgt voor betrouwbare prestaties en een lange levensduur, zelfs in veeleisende omgevingen. VeTek streeft ernaar producten van hoge kwaliteit te leveren en als langetermijnpartner op de Chinese markt te dienen met concurrerende prijzen.
Lees verderStuur onderzoekDe TaC Coating Pedestal Support Plate van VeTek Semiconductor is een uiterst nauwkeurig product dat is ontworpen om te voldoen aan de specifieke eisen van halfgeleider-epitaxieprocessen. Met zijn TaC-coating, hoge temperatuurbestendigheid en chemische inertie stelt ons product u in staat hoogwaardige EPI-lagen van hoge kwaliteit te produceren. Wij streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoekDe TaC Coating Chuck van VeTek Semiconductor is voorzien van een hoogwaardige TaC-coating, bekend om zijn uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid, vooral bij siliciumcarbide (SiC) epitaxie (EPI) processen. Met zijn uitzonderlijke kenmerken en superieure prestaties biedt onze TaC Coating Chuck verschillende belangrijke voordelen. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoek