Verdamping met elektronenbundels is een zeer efficiënte en veelgebruikte coatingmethode in vergelijking met weerstandsverwarming, waarbij het verdampingsmateriaal wordt verwarmd met een elektronenbundel, waardoor het verdampt en condenseert tot een dunne film.
Lees verderVacuümcoaten omvat verdamping van filmmateriaal, vacuümtransport en groei van dunne films. Volgens de verschillende verdampingsmethoden en transportprocessen van filmmateriaal kan vacuümcoaten worden onderverdeeld in twee categorieën: PVD en CVD.
Lees verderDepositie van dunne films is van cruciaal belang bij de productie van chips, waarbij micro-apparaten worden gecreëerd door films van minder dan 1 micron dik af te zetten via CVD, ALD of PVD. Bij deze processen worden halfgeleidercomponenten opgebouwd door afwisselend geleidende en isolerende films.
Lees verderHet productieproces van halfgeleiders omvat acht stappen: wafelverwerking, oxidatie, lithografie, etsen, dunne filmafzetting, onderlinge verbinding, testen en verpakken. Silicium uit zand wordt verwerkt tot wafels, geoxideerd, van een patroon voorzien en geëtst voor uiterst nauwkeurige circuits.
Lees verder