China UV-LED-susceptor Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is een fabrikant die gespecialiseerd is in UV-LED-susceptors, heeft vele jaren onderzoeks-, ontwikkelings- en productie-ervaring op het gebied van LED EPI-susceptors en wordt door veel klanten in de industrie erkend.

LED, dat wil zeggen een halfgeleider lichtgevende diode, de fysieke aard van zijn luminescentie is dat nadat de pn-overgang van de halfgeleider is bekrachtigd, onder invloed van de elektrische potentiaal, elektronen en gaten in het halfgeleidermateriaal worden gecombineerd om fotonen te genereren, om zo halfgeleiderluminescentie bereiken. Daarom is epitaxiale technologie een van de fundamenten en kern van LED, en ook de belangrijkste beslissende factor voor de elektrische en optische eigenschappen van LED.

Epitaxie (EPI)-technologie verwijst naar de groei van een monokristallijn materiaal op een monokristallijn substraat met dezelfde roosterindeling als het substraat. Basisprincipe: Op een tot de juiste temperatuur verwarmd substraat (voornamelijk saffiersubstraat, SiC-substraat en Si-substraat) worden de gasvormige stoffen indium (In), gallium (Ga), aluminium (Al), fosfor (P) naar het oppervlak gestuurd van het substraat om een ​​specifieke monokristallijne film te laten groeien. Momenteel maakt de groeitechnologie van LED-epitaxiale platen voornamelijk gebruik van de methode MOCVD (organische metaalchemische meteorologische depositie).

LED epitaxiaal substraatmateriaal

1. Rode en gele LED:

GaP en GaAs zijn veelgebruikte substraten voor rode en gele LED's. GaP-substraten worden gebruikt in de vloeistoffase-epitaxie (LPE)-methode, wat resulteert in een breed golflengtebereik van 565-700 nm. Voor de gasfase-epitaxie (VPE)-methode worden epitaxiale GaAsP-lagen gegroeid, wat golflengten tussen 630-650 nm oplevert. Bij gebruik van MOCVD worden doorgaans GaAs-substraten gebruikt bij de groei van epitaxiale AlInGaP-structuren. Dit helpt de nadelen van lichtabsorptie van GaAs-substraten te overwinnen, hoewel het roostermismatch introduceert, waardoor bufferlagen nodig zijn voor het groeien van InGaP- en AlGaInP-structuren.

VeTek Semiconductor biedt LED EPI-susceptor met SiC-coating, TaC-coating:

VEECO Rode en gele LED EPI-susceptor TaC-coating gebruikt in LED EPI-susceptor

2. blauwe en groene LED:

GaN-substraat: GaN-monokristal is het ideale substraat voor GaN-groei, waardoor de kristalkwaliteit, de levensduur van de chip, de lichtefficiëntie en de stroomdichtheid worden verbeterd. De moeilijke voorbereiding ervan beperkt echter de toepassing ervan.

Saffiersubstraat: Saffier (Al2O3) is het meest voorkomende substraat voor GaN-groei en biedt een goede chemische stabiliteit en geen absorptie van zichtbaar licht. Het wordt echter geconfronteerd met uitdagingen met onvoldoende thermische geleidbaarheid bij werking van stroomchips met hoge stroomsterkte.

SiC-substraat: SiC is een ander substraat dat wordt gebruikt voor GaN-groei en staat op de tweede plaats qua marktaandeel. Het biedt een goede chemische stabiliteit, elektrische geleidbaarheid, thermische geleidbaarheid en geen absorptie van zichtbaar licht. Het heeft echter hogere prijzen en een lagere kwaliteit in vergelijking met saffier. SiC is niet geschikt voor UV-LED's onder 380 nm. De uitstekende elektrische en thermische geleidbaarheid van SiC elimineert de noodzaak van flip-chip-binding voor warmteafvoer in Power-type GaN-LED's op saffiersubstraten. De bovenste en onderste elektrodestructuur zijn effectief voor warmteafvoer in GaN LED-apparaten van het stroomtype.

AMEC blauwe en groene LED EPI susceptor MOCVD Susceptor met TaC-coating

3. Diepe UV-LED EPI:

Bij diep-ultraviolette (DUV) LED-epitaxie, diepe UV-LED of DUV LED-epitaxie omvatten veelgebruikte chemische materialen als substraten aluminiumnitride (AlN), siliciumcarbide (SiC) en galliumnitride (GaN). Deze materialen beschikken over een goede thermische geleidbaarheid, elektrische isolatie en kristalkwaliteit, waardoor ze geschikt zijn voor DUV LED-toepassingen in omgevingen met hoog vermogen en hoge temperaturen. De keuze van het substraatmateriaal hangt af van factoren zoals toepassingsvereisten, fabricageprocessen en kostenoverwegingen.

SiC-gecoate diepe UV-LED-susceptor TaC-gecoate diepe UV-LED-susceptor