> Producten > Tantaalcarbide coating

Producten

Nieuwe Producten

China Tantaalcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.

De belangrijkste producten zijnTantaalcarbide coating defectorring, TaC gecoate afleidingsring, TaC gecoate halvemaandelen, Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf (Aixtron G10), TaC gecoate smeltkroes; TaC-gecoate ringen; TaC-gecoat poreus grafiet; Tantaalcarbide coating Grafiet Susceptor; TaC-gecoate geleidingsring; TaC tantaalcarbide gecoate plaat; TaC-gecoate wafer susceptor; TaC-coatingring; TaC-coating Grafietafdekking; TaC-gecoate brokenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege het hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het SiC-kristalgroeiproces van de PVT-methode.

Belangrijkste kenmerken:

Temperatuurstabiliteit

Ultrahoge zuiverheid

Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

Weerstand tegen thermische voorraad

Sterke hechting op grafiet

Conforme coatingdekking

Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)

Toepassingen:

Wafeldrager

Inductieve verwarmingskroes

Resistief verwarmingselement

Satelliet schijf

Douchekop

Geleidingsring

LED Epi-ontvanger

Injectie mondstuk

Maskerende ring

Hitteschild

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)

TaC-coating EDX-gegevens：

TaC coating EDX data

TaC-coating kristalstructuurgegevens

Element	Atoom procent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Gemiddeld
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-coatinghouder TaC-coating planetaire schijf TaC-gecoate plaat Rotatieplaat met TaC-coating Susceptor met TaC-coating CVD TaC-coating Deksel CVD TaC-coatingring TaC-coatingplaat

View as

Tantaalcarbide gecoate ring

Als professionele innovator en leider van Tantalum Carbide Coated Ring-producten in China speelt VeTek halfgeleider Tantalum Carbide Coated Ring een onvervangbare rol in de SiC-kristalgroei met zijn uitstekende hoge temperatuurbestendigheid, slijtvastheid en uitstekende thermische geleidbaarheid. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

Poreus tantaalcarbide

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van poreuze tantaalcarbideproducten in China. Poreus tantaalcarbide wordt meestal vervaardigd via de chemische dampafzettingsmethode (CVD), waardoor nauwkeurige controle van de poriegrootte en -verdeling wordt gegarandeerd, en is een materiaalhulpmiddel dat is bedoeld voor extreme omgevingen met hoge temperaturen. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide ring

Als geavanceerde fabrikant en producent van Tantalum Carbide Ring-producten in China heeft VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring een extreem hoge hardheid, slijtvastheid, hoge temperatuurbestendigheid en chemische stabiliteit, en wordt het veel gebruikt in de halfgeleiderproductie. Vooral bij CVD, PVD, ionenimplantatieproces, etsproces en wafelverwerking en transport is het een onmisbaar product voor de verwerking en productie van halfgeleiders. Ik kijk uit naar uw verdere overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

Ondersteuning van tantaalcarbidecoating

As a professional Tantalum Carbide Coating Support product manufacturer and factory in China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support is usually used for surface coating of structural components or support components in semiconductor equipment, especially for surface protection of key equipment components in semiconductor manufacturing processes such as CVD and PVD. Welcome your further consultation.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide geleidering

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van Tantalum Carbide Guide Ring-producten in China. Onze Tantalum Carbide (TaC) geleidingsring is een hoogwaardig ringonderdeel gemaakt van tantaalcarbide, dat vaak wordt gebruikt in halfgeleiderverwerkingsapparatuur, vooral in omgevingen met hoge temperaturen en zeer corrosieve omstandigheden zoals CVD, PVD, etsen en diffusie. VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie en verwelkomt uw verdere vragen.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC Coating Rotatie Susceptor

Als professionele fabrikant, innovator en leider van TaC Coating Rotation Susceptor-producten in China. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor wordt meestal geïnstalleerd in apparatuur voor chemische dampafzetting (CVD) en moleculaire bundelepitaxie (MBE) om wafers te ondersteunen en te roteren om een uniforme materiaalafzetting en een efficiënte reactie te garanderen. Het is een sleutelcomponent bij de verwerking van halfgeleiders. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

<1 2 3 4 5...8 >

Als professionele Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Tantaalcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.