VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van Tantalum Carbide Guide Ring-producten in China. Onze Tantalum Carbide (TaC) geleidingsring is een hoogwaardig ringonderdeel gemaakt van tantaalcarbide, dat vaak wordt gebruikt in halfgeleiderverwerkingsapparatuur, vooral in omgevingen met hoge temperaturen en zeer corrosieve omstandigheden zoals CVD, PVD, etsen en diffusie. VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie en verwelkomt uw verdere vragen.
VeTek-halfgeleiderTantaalcarbide geleideringgis gemaakt vangrafietEnbekleed met tantaalcarbide, een combinatie die gebruik maakt van de beste eigenschappen van beide materialen om superieure prestaties en een lange levensduur te garanderen.
DeTaC-coatingop de Tantalum Carbide Guide Ring zorgt ervoor dat het chemisch inert blijft in de reactieve atmosferen van SiC-kristalgroeiovens, waarbij vaak gassen als waterstof, argon en stikstof betrokken zijn. Deze chemische inertheid is van vitaal belang om elke verontreiniging van het groeiende kristal te voorkomen, wat zou kunnen leiden tot defecten en verminderde prestaties van de uiteindelijke halfgeleiderproducten. Bovendien zorgt de thermische stabiliteit van de TaC-coating ervoor dat de Tantalum Carbide Coating Guide Ring effectief kan werken bij de hoge temperaturen die nodig zijn voorSiC-kristalgroei, doorgaans hoger dan 2000°C.
Bovendien optimaliseert de combinatie van grafiet en TaC in de Tantalum Carbide Coating Ring het thermische beheer in de kristalgroeioven. De hoge thermische geleidbaarheid van grafiet verdeelt de warmte efficiënt, waardoor hotspots worden voorkomen en een uniforme kristalgroei wordt bevorderd. Ondertussen dient de Tantalum Carbide-coating als een thermische barrière en beschermt de grafietkern tegen directe blootstelling aan hoge temperaturen en reactieve gassen. Deze synergie tussen de kern- en coatingmaterialen resulteert in een geleidingsring die niet alleen bestand is tegen de zware omstandigheden van SiC-kristalgroei, maar ook de algehele efficiëntie en kwaliteit van het proces verbetert.
De mechanische eigenschappen van VeTek Semiconductor Tantalum Carbide verminderen de slijtage van de Tantalum Carbide Coating Ring aanzienlijk. Dit is van cruciaal belang vanwege het repetitieve karakter van dekristalgroeiproces, waardoor de geleidingsring wordt blootgesteld aan frequente thermische cycli en mechanische spanningen. De hardheid en slijtvastheid van Tantalum Carbide zorgen ervoor dat de geleidingsring zijn structurele integriteit en nauwkeurige afmetingen gedurende lange perioden behoudt, waardoor de noodzaak voor frequente vervangingen wordt geminimaliseerd en de stilstand in het productieproces wordt verminderd.
VeTek-halfgeleiderTantalum Carbide Coating Guide Ring is een essentieel onderdeel in de halfgeleiderindustrie, speciaal ontworpen voor de groei vanSiliciumcarbide kristallen. Het ontwerp maakt gebruik van de sterke punten van grafiet en tantaalcarbide om uitzonderlijke prestaties te leveren in omgevingen met hoge temperaturen en hoge stress. De TaC-coating zorgt voor chemische inertheid, mechanische duurzaamheid en thermische stabiliteit, die allemaal cruciaal zijn voor de productie van hoogwaardige SiC-kristallen. Door zijn integriteit en functionaliteit onder extreme omstandigheden te behouden, ondersteunt de geleidingsring de efficiënte en defectvrije groei van SiC-kristallen, wat bijdraagt aan de vooruitgang van halfgeleiderapparaten met hoog vermogen en hoge frequentie.
Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:
Fysische eigenschappen van TaC-coating:
Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte
14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit
0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt
6,3*10-6/K
Hardheid (HK)
2000 Hongkong
Weerstand
1×10-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit
<2500℃
Grafietgrootte verandert
-10~-20um
Dikte van de coating
≥20um typische waarde (35um±10um)