Siliciumcarbide waferhouder

VeTek Semiconductor Siliciumcarbide Wafer Chuck maakt gebruik van de uitstekende eigenschappen van siliciumcarbidematerialen om te voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleiderproductie, vooral bij halfgeleiderverwerking die extreem hoge precisie en betrouwbaarheid vereist.

In het halfgeleiderverwerkingsprocesSiliciumcarbideheeft een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen (kan stabiel werken tot 1400°C), lage geleidbaarheid (SiC heeft een relatief lage geleidbaarheid, doorgaans 10^^-3S/m) en lage thermische uitzettingscoëfficiënt (ongeveer 4,0 × 10^^-6/°C), een onmisbaar en belangrijk materiaal, vooral geschikt voor de vervaardiging van siliciumcarbide wafer chuck.

Tijdens deepitaxiaal groeiproceswordt een dunne laag halfgeleidermateriaal op een substraat afgezet, wat absolute stabiliteit van de wafer vereist om uniforme en hoogwaardige filmafzettingslagen te garanderen. De SiC-vacuümhouder bereikt dit door een stevige, consistente vacuümgreep te creëren om elke beweging of vervorming van de wafer te voorkomen.

De siliciumcarbide Wafer Chuck biedt ook uitstekende weerstand tegen thermische schokken. Snelle temperatuurveranderingen zijn gebruikelijk bij de productie van halfgeleiders, en materialen die deze schommelingen niet kunnen weerstaan, kunnen barsten, buigen of defect raken. Siliciumcarbide heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt en kan zijn vorm en functie behouden, zelfs onder drastische temperatuurveranderingen, waardoor de wafer veilig blijft tijdens het epitaxieproces zonder beweging of verkeerde uitlijning.

Bovendien is deepitaxie procesvaak gaat het om reactieve gassen en andere corrosieve chemicaliën. De chemische inertheid van de SiC Wafer Chuck zorgt ervoor dat deze niet wordt beïnvloed door deze zware omstandigheden, waardoor de prestaties behouden blijven en de levensduur wordt verlengd. Deze chemische duurzaamheid vermindert niet alleen de frequentie van Wafer Chuck-vervanging, maar zorgt ook voor consistente productprestaties gedurende meerdere productiecycli, waardoor de algehele efficiëntie en kosteneffectiviteit van het halfgeleiderproductieproces worden verbeterd.

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van siliciumcarbide Wafer Chuck-producten in China. Wij kunnen diverse soorten Chuck producten leveren zoalsPoreuze SiC-keramische boorkop, Poreuze SiC-vacuümhouder, Poreuze keramische vacuümhouderEnChuck met TaC-coating, enz. VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. Wij hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te worden.

SEM-GEGEVENS VAN CVDSIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR：

VeTek Semiconductor Siliciumcarbide Wafer Chuck-winkels：