Siliciumcarbide keramische coatingverwarmer

VeTek-halfgeleiderSiliciumcarbide keramische coatingverwarmer is een verwarmer die is ontworpen voor hoge temperaturen en zware omgevingen. Het bedekt een laag silicium-koolstof-keramische coating (SiC) op het oppervlak van het verwarmingselement om de apparatuur een uitstekende hittebestendigheid, corrosieweerstand en thermische geleidbaarheid te geven. 

Siliciumcarbide keramische coatingverwarmerwordt voornamelijk gebruikt in apparatuur voor vacuümcoating (verdamping). De meest gebruikte methoden zijn PCD (Plasma Chemical Drying) en PVD (Physical Vapour Deposition), die veel worden gebruikt in de productie van halfgeleiders en andere veeleisende industriële toepassingen.

Gecombineerd met het hoogwaardige coatingontwerp van de Silicon Carbide Ceramic Coating Heater,het kan een uitstekende verwarmingsoplossing bieden voor processen bij hoge temperaturen.

Uitstekende thermische geleidbaarheid: SiC-materiaal heeft een uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor de verwarmer een uniforme warmteverdeling in het werkgebied kan bereiken en temperatuurgradiënten kan verminderen.

Zorg voor een uniforme warmteverdeling: Siliciumcarbide keramische coatingverwarmer maakt gebruik van de hoge thermische geleidbaarheid van SiC-materiaal om een ​​uniforme temperatuurverdeling over het verwarmingsgebied te bereiken. Dit is van cruciaal belang om een ​​uniforme warmtebehandeling van halfgeleiderwafels te garanderen bij verschillende hogetemperatuurprocessen, zoals snelle thermische verwerking (RTP), diffusie en oxidatie, waarbij productdefecten worden vermeden die worden veroorzaakt door lokale oververhitting of ongelijkmatige temperaturen.

Hoge temperatuurtolerantie: Dankzij de SiC-coating is de verwarmer bestand tegen extreem hoge temperaturen, doorgaans tot 1600 °C, geschikt voor verschillende verwerkingsprocessen bij hoge temperaturen.

Verbeter de hittebestendigheid: Omdat de coating bestand is tegen extreem hoge temperaturen, presteert deze goed in processen die langdurig gebruik bij hoge temperaturen vereisen. Bij chemische dampafzettingsprocessen (CVD) kan de Silicon Carbide Ceramic Coating Heater bijvoorbeeld zorgen voor een stabiele werking van de apparatuur op lange termijn bij hoge temperaturen en consistente verwarmingsprestaties behouden, waardoor de herhaalbaarheid en betrouwbaarheid van het proces wordt verbeterd.

Chemische corrosiebestendigheid: SiC-coating heeft een extreem hoge weerstand tegen zure, alkalische en corrosieve gassen en kan lange tijd stabiel blijven in een complexe chemische atmosfeer, waardoor de levensduur van de apparatuur wordt verlengd. 

Verlenging van de levensduur van de apparatuur: SiC-coating heeft een uitstekende oxidatieweerstand en corrosieweerstand en is effectief bestand tegen chemische erosie en oxidatie bij hoge temperaturen. Dit is zeer cruciaal in het productieproces van halfgeleiders, vooral in een omgeving waar corrosieve gassen en chemicaliën worden verwerkt. Het beschermende effect van de coating kan de levensduur van de verwarming aanzienlijk verlengen en de frequentie van vervanging van apparatuur en onderhoudskosten verminderen.

Fysische basiseigenschappen van keramische coatingverwarmer van siliciumcarbide:

VeTek-halfgeleider siliciumcarbide keramische coatingverwarmerwinkels:

Overzicht van de VeTek-industrieketen voor halfgeleiderchip-epitaxie: