Keramische coating van siliciumcarbide

Vetek halfgeleider Keramische coating van siliciumcarbideis een hoogwaardige beschermende coating gemaakt van extreem hard en slijtvast siliciumcarbide (SiC) materiaal, dat uitstekende chemische corrosieweerstand en hoge temperatuurstabiliteit biedt. Deze eigenschappen zijn van cruciaal belang bij de productie van halfgeleiders. Daarom wordt siliciumcarbide-keramische coating veel gebruikt op belangrijke componenten van apparatuur voor de productie van halfgeleiders.

De specifieke rol die Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating speelt bij de productie van halfgeleiders is dat welals volgt:

Verbeter de duurzaamheid van apparatuur: Siliciumcarbide keramische coating biedt uitstekende oppervlaktebescherming voor halfgeleiderproductieapparatuur met zijn extreem hoge hardheid en slijtvastheid. Vooral in zeer corrosieve procesomgevingen met hoge temperaturen, zoals chemische dampafzetting (CVD) en plasma-etsen, kan de keramische coating van siliciumcarbide effectief schade aan het oppervlak van de apparatuur als gevolg van chemische erosie of fysieke slijtage voorkomen, waardoor de levensduur van de apparatuur aanzienlijk wordt verlengd. van de apparatuur en het verminderen van de uitvaltijd veroorzaakt door frequente vervanging en onderhoud.

Verbeter de proceszuiverheid: Bij het productieproces van halfgeleiders kan elke kleine verontreiniging productdefecten veroorzaken. De chemische inertheid van de keramische coating van siliciumcarbide zorgt ervoor dat deze onder extreme omstandigheden stabiel blijft, voorkomt dat het materiaal deeltjes of onzuiverheden vrijgeeft en garandeert de zuiverheid van de omgeving tijdens het proces. Dit is vooral belangrijk voor productiestappen die hoge precisie en hoge zuiverheid vereisen, zoals PECVD en ionenimplantatie.

Optimaliseer het thermisch beheer: Bij halfgeleiderverwerking bij hoge temperaturen, zoals snelle thermische verwerking (RTP) en oxidatieprocessen, maakt de hoge thermische geleidbaarheid van siliciumcarbide keramische coating een uniforme temperatuurverdeling in de apparatuur mogelijk. Dit helpt de thermische spanning en materiaalvervorming veroorzaakt door temperatuurschommelingen te verminderen, waardoor de nauwkeurigheid en consistentie van de productie van producten wordt verbeterd.

Ondersteuning van complexe procesomgeving: Bij processen die complexe atmosfeercontrole vereisen, zoals ICP-ets- en PSS-etsprocessen, zorgen de stabiliteit en oxidatieweerstand van de keramische coatingverwarmer van siliciumcarbide voor de stabiele prestaties van de apparatuur bij langdurig gebruik, waardoor het risico op materiaaldegradatie of apparatuur wordt verminderd. schade als gevolg van veranderingen in het milieu.

Vetek halfgeleiderricht zich op het produceren en leveren van hoogwaardige prestatiesKeramische coating van siliciumcarbideen zet zich in voor het leveren van geavanceerde technologie en productoplossingen voor de halfgeleiderindustrie.Wij hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te zijn.

Fundamentele fysieke eigenschappen vanKeramische coating van siliciumcarbide:

VeTek Semiconductor Siliciumcarbide keramische coatingwinkels:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: