Ondersteuning van tantaalcarbidecoating

De belangrijkste functie van VeTek SemiconductorTantaalcarbide (TaC) coatingOndersteuning is het verbeteren van dehittebestendigheid, slijtvastheid en corrosieweerstandvan het substraat door een laag Tantalum Carbide Coating te coaten, om de nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van het proces te verbeteren en de levensduur van de componenten te verlengen. Het is een hoogwaardig coatingproduct dat wordt gebruikt op het gebied van halfgeleiderverwerking.

De Tantalum Carbide Coating Suppor van VeTek Semiconductor heeft een Mohs-hardheid van bijna 9~10, de tweede na diamant. Het heeft een extreem sterke slijtvastheid en is effectief bestand tegen oppervlakteslijtage en impact tijdens de verwerking, waardoor de levensduur van apparatuurcomponenten effectief wordt verlengd. Gecombineerd met het hoge smeltpunt van ongeveer 3880°C wordt het vaak gebruikt voor het coaten van belangrijke componenten van halfgeleiderapparatuur, zoals oppervlaktecoatings van steunstructuren, warmtebehandelingsapparatuur, kamers of pakkingen in halfgeleiderapparatuur om de slijtvastheid en hoge temperatuur te verbeteren. weerstand.

Vanwege het extreem hoge smeltpunt van tantaalcarbide van ongeveer 3880°C, in halfgeleiderverwerkingsprocessen zoalschemische dampdepositie (CVD)Enfysieke dampafzetting (PVD)TaC-coating met sterke weerstand tegen hoge temperaturen en chemische corrosieweerstand kan apparatuurcomponenten effectief beschermen en corrosie of schade aan het substraat in extreme omgevingen voorkomen, waardoor effectieve bescherming wordt geboden voor omgevingen met hoge temperaturen bij de productie van wafers. Deze eigenschap bepaalt ook dat de Tantalum Carbide Coating Support van VeTek Semiconductor vaak wordt gebruikt bij ets- en corrosieve processen.

Tantalum Carbide Coating Support heeft ook de functie om deeltjesverontreiniging te verminderen. Tijdens de verwerking van wafels veroorzaakt oppervlakteslijtage gewoonlijk deeltjesverontreiniging, die de productkwaliteit van de wafel beïnvloedt. De extreme producteigenschappen van TaC Coating, met een hardheid van bijna 9-10 Mohs, kunnen deze slijtage effectief verminderen, waardoor de vorming van deeltjes wordt verminderd. Gecombineerd met de uitstekende thermische geleidbaarheid van TaC Coating (ongeveer 21 W/m·K), kan het een goede thermische geleidbaarheid behouden onder omstandigheden van hoge temperaturen, waardoor de opbrengst en consistentie van de waferproductie aanzienlijk worden verbeterd.

De belangrijkste TaC Coating-producten van VeTek Semiconductor omvattenTaC-coatingverwarmer, CVD TaC-coatingkroes, TaC Coating Rotatie SusceptorEnTaC-coating reserveonderdeel, enz., en ondersteuning van op maat gemaakte productdiensten. VeTek Semiconductor streeft ernaar uitstekende producten en technische oplossingen te leveren voor de halfgeleiderindustrie. Wij hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te worden.

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Fysische basiseigenschappen van CVD TaC-coating：