TaC-coating reserveonderdeel

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant van TaC Coating Plate en andere TaC Coating-reserveonderdelen in China. TaC Coating wordt momenteel voornamelijk gebruikt in processen zoals monokristalgroei van siliciumcarbide (PVT-methode), epitaxiale schijf (inclusief siliciumcarbide-epitaxie, LED-epitaxie), enz. Gecombineerd met de goede stabiliteit op lange termijn van TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate is de maatstaf geworden voor TaC Coating-reserveonderdelen. We kijken ernaar uit dat u onze langetermijnpartner wordt.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

VeTek-halfgeleiderTaC-coatingplaatis een speciaal materiaal dat veel wordt gebruikt in dehalfgeleiderproductieproces. Gecombineerd met zijn hoge hardheid en slijtvastheid, hoge temperatuurbestendigheid, corrosieweerstand, lage wrijvingscoëfficiënt en goede thermische geleidbaarheid, speelt TaC Coating Plate een onvervangbare rol in veel schakels van halfgeleiderverwerking.

Over het algemeen zijn de toepassingen vanMet TaC gecoate platenin halfgeleiderverwerking zijn als volgt:

CVD/ALD-groeisubstraat: De hoge temperatuurbestendigheid, chemische stabiliteit en lage wrijvingscoëfficiënt van met TaC gecoate platen maken ze tot ideale CVD/ALD-groeisubstraten. Het kan een stabiele groeiomgeving bieden om de uniformiteit en dichtheid van de film te garanderen.

Ets maskerplaat: Dankzij de hoge hardheid en corrosieweerstand van met TaC gecoate platen zijn ze bestand tegen hoogenergetische processen zoals plasma-etsen, terwijl etsmaskerplaten de onderliggende film beschermen.

CMP-polijstpad: De slijtvastheid en lage wrijvingscoëfficiënt van met TaC gecoate platen maken ze tot ideale materialen voor CMP-polijstpads, die effectief deeltjes en defecten op het oppervlak van de film kunnen verwijderen.

Ovenbuis op hoge temperatuur: Dankzij de hoge temperatuurbestendigheid en corrosieweerstand van met TaC gecoate platen kunnen ze worden gebruikt als ovenbuizen in hogetemperatuurovens voor gloeien, diffusie en andere processen bij hoge temperaturen.

Gecombineerd met de producteigenschappen vanTaC-coatingplaatHet stelt vast dat dit product een onvervangbare sleutelrol speelt bij het verbeteren van de prestaties van apparaten, het verlengen van de levensduur van apparatuur en het verbeteren van de productie-efficiëntie.

Als professionele fabrikant vanGaN op SiC epi-acceptor, Poreus grafietEnTaC-coatingplaatin China dringt VeTek Semiconductor altijd aan op het leveren van op maat gemaakte productdiensten en streeft het ernaar de industrie te voorzien van toptechnologie en productoplossingen. Wij kijken oprecht uit naar uw verdere overleg.

CVD TAC COATING Technische parameters：