TaC-coatingverwarmer

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van TaC Coating Heater in China. Dit product heeft een extreem hoog smeltpunt (ongeveer 3880°C). Het hoge smeltpunt van TaC Coating Heater maakt het mogelijk om bij extreem hoge temperaturen te werken, vooral bij de groei van epitaxiale lagen van galliumnitride (GaN) in het metaalorganische chemische dampdepositie (MOCVD). VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

TaC Coating Heater is een krachtig verwarmingselement dat veel wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen. Het oppervlak is bedekt met tantaalcarbide (TaC), waardoor de verwarmer uitstekend bestand is tegen hoge temperaturen, chemische corrosie en uitstekende thermische geleidbaarheid.

De belangrijkste toepassingen van TaC Coating Heater bij de productie van halfgeleiders zijn onder meer:

Tijdens het epitaxiale groeiproces van galliumnitride (GaN) zorgt TaC Coating Heater voor een nauwkeurig gecontroleerde omgeving met hoge temperaturen om ervoor te zorgen dat de epitaxiale laag met een uniforme snelheid en hoge kwaliteit op het substraat wordt afgezet. De stabiele warmteafgifte zorgt voor een nauwkeurige controle van dunne-filmmaterialen, waardoor de prestaties van het apparaat worden verbeterd.

Bovendien wordt bij het MOCVD-proces (metaalorganische chemische dampafzetting), gecombineerd met de hoge temperatuurbestendigheid en thermische geleidbaarheid van de TaC-coating, de TaC-coatingverwarmer meestal gebruikt om het reactiegas te verwarmen, en door een uniforme warmteverdeling te bieden, bevordert deze de de chemische reactie op het substraatoppervlak, waardoor de uniformiteit van de epitaxiale laag wordt verbeterd en een hoogwaardige film wordt gevormd.

Als marktleider op het gebied van TaC Coating Heater-producten ondersteunt VeTek Semiconducto altijd productaanpassingsdiensten en bevredigende productprijzen. Wat uw specifieke vereisten ook zijn, wij zullen de beste oplossing voor uw TaC Coating Heater-behoeften vinden en kijken te allen tijde uit naar uw advies.

Fysische basiseigenschappen van TaC Coating Heater:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10-5 Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)