CVD TaC-coatingkroes

TaC-coating Rotation Susceptor speelt een sleutelrol bij afzettingsprocessen bij hoge temperaturen, zoals CVD en MBE, en is een belangrijk onderdeel voor waferverwerking bij de productie van halfgeleiders. Onder hen,TaC-coatingheeft een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, corrosieweerstand en chemische stabiliteit, wat een hoge precisie en hoge kwaliteit garandeert tijdens de wafelverwerking.

CVD TaC Coating Crucible bestaat meestal uit TaC Coating engrafietsubstraat. Onder hen is TaC een keramisch materiaal met een hoog smeltpunt en een smeltpunt tot 3880°C. Het heeft een extreem hoge hardheid (Vickers-hardheid tot 2000 HV), chemische corrosieweerstand en sterke oxidatieweerstand. Daarom is TaC Coating een uitstekend hittebestendig materiaal in de halfgeleiderverwerkingstechnologie.

Het grafietsubstraat heeft een goede thermische geleidbaarheid (thermische geleidbaarheid is ongeveer 21 W/m·K) en uitstekende mechanische stabiliteit. Deze eigenschap bepaalt dat grafiet een ideale coating wordtsubstraat.

CVD TaC Coating Crucible wordt voornamelijk gebruikt in de volgende halfgeleiderverwerkingstechnologieën:

Productie van wafels: VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Crucible heeft een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen (smeltpunt tot 3880 ° C) en corrosiebestendigheid, en wordt daarom vaak gebruikt in belangrijke productieprocessen voor wafers, zoals dampafzetting bij hoge temperatuur (CVD) en epitaxiale groei. Gecombineerd met de uitstekende structurele stabiliteit van het product in omgevingen met ultrahoge temperaturen, zorgt dit ervoor dat de apparatuur lange tijd stabiel kan functioneren onder extreem zware omstandigheden, waardoor de productie-efficiëntie en kwaliteit van wafers effectief wordt verbeterd.

Epitaxiaal groeiproces: Bij epitaxiale processen zoalschemische dampdepositie (CVD)en moleculaire bundelepitaxie (MBE), CVD TaC Coating Crucible speelt een sleutelrol bij het dragen. De TaC-coating kan niet alleen de hoge zuiverheid van het materiaal behouden onder extreme temperaturen en corrosieve atmosfeer, maar kan ook effectief de verontreiniging van de reactanten op het materiaal en de corrosie van de reactor voorkomen, waardoor de nauwkeurigheid van het productieproces en de productconsistentie wordt gegarandeerd.

Als China's toonaangevende fabrikant en leider van CVD TaC Coating Crucibles, kan VeTek Semiconductor op maat gemaakte producten en technische diensten leveren op basis van uw apparatuur- en procesvereisten. Wij hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te worden.

Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede：

Fysische eigenschappen van TaC-coating：

VeTek-halfgeleider CVD TaC Coating Crucible-winkels: