Thuis > Producten > Tantaalcarbide coating

China Tantaalcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.


De belangrijkste producten zijnTantaalcarbide coating defectorring, TaC gecoate afleidingsring, TaC gecoate halvemaandelen, Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf (Aixtron G10), TaC gecoate smeltkroes; TaC-gecoate ringen; TaC-gecoat poreus grafiet; Tantaalcarbide coating Grafiet Susceptor; TaC-gecoate geleidingsring; TaC tantaalcarbide gecoate plaat; TaC-gecoate wafer susceptor; TaC-coatingring; TaC-coating Grafietafdekking; TaC-gecoate brokenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.


TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:


Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating


De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege het hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het SiC-kristalgroeiproces van de PVT-methode.


Belangrijkste kenmerken:

Temperatuurstabiliteit

Ultrahoge zuiverheid

Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si

Weerstand tegen thermische voorraad

Sterke hechting op grafiet

Conforme coatingdekking

Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)


Toepassingen:

Wafeldrager

Inductieve verwarmingskroes

Resistief verwarmingselement

Satelliet schijf

Douchekop

Geleidingsring

LED Epi-ontvanger

Injectie mondstuk

Maskerende ring

Hitteschild


Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section


Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte 14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit 0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt 6.3 10-6/K
Hardheid (HK) 2000 Hongkong
Weerstand 1×10-5Ohm*cm
Thermische stabiliteit <2500℃
Grafietgrootte verandert -10~-20um
Dikte van de coating ≥20um typische waarde (35um±10um)


TaC-coating EDX-gegevens

TaC coating EDX data


TaC-coating kristalstructuurgegevens

Element Atoom procent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gemiddeld
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
Ta M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC-coating reserveonderdeel

TaC-coating reserveonderdeel

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant van TaC Coating Plate en andere TaC Coating-reserveonderdelen in China. TaC Coating wordt momenteel voornamelijk gebruikt in processen zoals monokristalgroei van siliciumcarbide (PVT-methode), epitaxiale schijf (inclusief siliciumcarbide-epitaxie, LED-epitaxie), enz. Gecombineerd met de goede stabiliteit op lange termijn van TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate is de maatstaf geworden voor TaC Coating-reserveonderdelen. We kijken ernaar uit dat u onze langetermijnpartner wordt.

Lees verderStuur onderzoek
GaN op SiC epi-acceptor

GaN op SiC epi-acceptor

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant van GaN op SiC epi-susceptor, CVD SiC-coating en CVD TAC COATING grafiet-susceptor in China. Onder hen speelt GaN op SiC epi-susceptor een cruciale rol bij de verwerking van halfgeleiders. Door zijn uitstekende thermische geleidbaarheid, verwerkingsvermogen bij hoge temperaturen en chemische stabiliteit, garandeert het de hoge efficiëntie en materiaalkwaliteit van het GaN epitaxiale groeiproces. Wij kijken oprecht uit naar uw verdere overleg.

Lees verderStuur onderzoek
CVD TaC-coatingdrager

CVD TaC-coatingdrager

De CVD TaC-coatingdrager van VeTek Semiconductor is voornamelijk ontworpen voor het epitaxiale proces van de productie van halfgeleiders. Het ultrahoge smeltpunt van CVD TaC Coating Carrier, uitstekende corrosieweerstand en uitstekende thermische stabiliteit bepalen de onmisbaarheid van dit product in epitaxiale halfgeleiderprocessen. We hopen oprecht een langdurige zakelijke relatie met u op te bouwen.

Lees verderStuur onderzoek
Geleidingsring met TaC-coating

Geleidingsring met TaC-coating

De TaC Coating Guide Ring van VeTek Semiconductor wordt gemaakt door tantaalcarbide coating aan te brengen op grafietonderdelen met behulp van een zeer geavanceerde techniek genaamd chemische dampdepositie (CVD). Deze methode is beproefd en biedt uitzonderlijke coatingeigenschappen. Door gebruik te maken van de TaC Coating Guide Ring kan de levensduur van grafietcomponenten aanzienlijk worden verlengd, kan de beweging van grafietverontreinigingen worden onderdrukt en kan de SiC- en AIN-monokristalkwaliteit betrouwbaar worden gehandhaafd. Welkom bij ons.

Lees verderStuur onderzoek
TaC-gecoate grafiet susceptor

TaC-gecoate grafiet susceptor

De TaC Coated Graphite Susceptor van VeTek Semiconductor maakt gebruik van de chemische dampafzettingsmethode (CVD) om tantaalcarbidecoating op het oppervlak van grafietonderdelen aan te brengen. Dit proces is het meest volwassen en heeft de beste coatingeigenschappen. TaC Coated Graphite Susceptor kan de levensduur van grafietcomponenten verlengen, de migratie van grafietonzuiverheden remmen en de kwaliteit van epitaxie garanderen. VeTek Semiconductor kijkt uit naar uw aanvraag.

Lees verderStuur onderzoek
TaC-coating susceptor

TaC-coating susceptor

VeTek Semiconductor presenteert de TaC Coating Susceptor. Met zijn uitzonderlijke TaC-coating biedt deze susceptor een groot aantal voordelen die hem onderscheiden van conventionele oplossingen. De TaC Coating Susceptor van VeTek Semiconductor is naadloos te integreren in bestaande systemen en garandeert compatibiliteit en efficiënte werking. De betrouwbare prestaties en de hoogwaardige TaC-coating leveren consistent uitzonderlijke resultaten op bij SiC-epitaxieprocessen. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

Lees verderStuur onderzoek
Als professionele Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Tantaalcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept