CVD TAC-coating

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant, innovator en leider van CVD TAC Coating in China. We concentreren ons al vele jaren op verschillende CVD TAC Coating-producten, zoals CVD TaC-coatingafdekking, CVD TaC-coatingring, CVD TaC-coatingdrager, enz. VeTek Semiconductor ondersteunt op maat gemaakte productdiensten en bevredigende productprijzen, en kijkt uit naar uw verdere overleg.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

CVD TaC Coating (chemische dampdepositie tantaalcarbide coating) is een coatingproduct dat voornamelijk bestaat uit tantaalcarbide (TaC). TaC-coating heeft een extreem hoge hardheid, slijtvastheid en hoge temperatuurbestendigheid, waardoor het een ideale keuze is voor het beschermen van belangrijke apparatuurcomponenten en het verbeteren van de procesbetrouwbaarheid. Het is een onmisbaar materiaal bij de verwerking van halfgeleiders.

CVD TaC Coating-producten worden meestal gebruikt in reactiekamers, waferdragers en etsapparatuur en spelen daarin de volgende sleutelrollen.

CVD TaC-coating wordt vaak gebruikt voor interne componenten van reactiekamers zoals substraten, wandpanelen en verwarmingselementen. Gecombineerd met zijn uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, kan het effectief de erosie van hoge temperatuur, corrosieve gassen en plasma weerstaan, waardoor de levensduur van de apparatuur effectief wordt verlengd en de stabiliteit van het proces en de zuiverheid van de productproductie wordt gewaarborgd.

Bovendien hebben TaC-gecoate waferdragers (zoals kwartsboten, armaturen etc.) ook een uitstekende hittebestendigheid en chemische corrosiebestendigheid. De waferdrager kan de wafer bij hoge temperaturen betrouwbare ondersteuning bieden, vervuiling en vervorming van de wafer voorkomen en zo de algehele chipopbrengst verbeteren.

Bovendien wordt de TaC-coating van VeTek Semiconductor ook veel gebruikt in verschillende ets- en dunne-filmdepositieapparatuur, zoals plasma-etsers, chemische dampdepositiesystemen, enz. In deze verwerkingssystemen is CVD TAC Coating bestand tegen hoogenergetische ionenbombardementen en sterke chemische reacties. , waardoor de nauwkeurigheid en herhaalbaarheid van het proces wordt gegarandeerd.

Wat uw specifieke vereisten ook zijn, wij zullen de beste oplossing voor uw CVD TAC Coating-behoeften vinden en kijken te allen tijde uit naar uw advies.

Fysieke basiseigenschappen van CVD TAC Coating:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10-5 Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Dikte van de coating	≥20um typische waarde (35um±10um)