- English
- Español
- Português
- русский
- Français
- 日本語
- Deutsch
- tiếng Việt
- Italiano
- Nederlands
- ภาษาไทย
- Polski
- 한국어
- Svenska
- magyar
- Malay
- বাংলা ভাষার
- Dansk
- Suomi
- हिन्दी
- Pilipino
- Türkçe
- Gaeilge
- العربية
- Indonesia
- Norsk
- تمل
- český
- ελληνικά
- український
- Javanese
- فارسی
- தமிழ்
- తెలుగు
- नेपाली
- Burmese
- български
- ລາວ
- Latine
- Қазақша
- Euskal
- Azərbaycan
- Slovenský jazyk
- Македонски
- Lietuvos
- Eesti Keel
- Română
- Slovenski
- मराठी
- Srpski језик
China Tantaalcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek
VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.
De belangrijkste producten zijnTantaalcarbide coating defectorring, TaC gecoate afleidingsring, TaC gecoate halvemaandelen, Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf (Aixtron G10), TaC gecoate smeltkroes; TaC-gecoate ringen; TaC-gecoat poreus grafiet; Tantaalcarbide coating Grafiet Susceptor; TaC-gecoate geleidingsring; TaC tantaalcarbide gecoate plaat; TaC-gecoate wafer susceptor; TaC-coatingring; TaC-coating Grafietafdekking; TaC-gecoate brokenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.
TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:
De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege het hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het SiC-kristalgroeiproces van de PVT-methode.
Belangrijkste kenmerken:
Temperatuurstabiliteit
Ultrahoge zuiverheid
Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si
Weerstand tegen thermische voorraad
Sterke hechting op grafiet
Conforme coatingdekking
Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)
Toepassingen:
Wafeldrager
Inductieve verwarmingskroes
Resistief verwarmingselement
Satelliet schijf
Douchekop
Geleidingsring
LED Epi-ontvanger
Injectie mondstuk
Maskerende ring
Hitteschild
Tantaalcarbide (TaC) coating op een microscopische dwarsdoorsnede:
Parameter van VeTek Semiconductor tantaalcarbidecoating:
| Fysische eigenschappen van TaC-coating | |
| Dikte | 14,3 (g/cm³) |
| Specifieke emissiviteit | 0.3 |
| Thermische uitzettingscoëfficiënt | 6.3 10-6/K |
| Hardheid (HK) | 2000 Hongkong |
| Weerstand | 1×10-5Ohm*cm |
| Thermische stabiliteit | <2500℃ |
| Grafietgrootte verandert | -10~-20um |
| Dikte van de coating | ≥20um typische waarde (35um±10um) |
TaC-coating EDX-gegevens：
TaC-coating kristalstructuurgegevens
| Element | Atoom procent | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gemiddeld | |
| C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
- View as
CVD TaC-coatingkroes
VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van CVD TaC Coating Crucible-producten in China. CVD TaC Coating Crucible is gebaseerd op tantaalkoolstof (TaC) coating. De tantaalkoolstofcoating wordt gelijkmatig bedekt op het oppervlak van de smeltkroes door middel van een chemisch dampafzettingsproces (CVD) om de hittebestendigheid en corrosieweerstand te verbeteren. Het is een materiaalgereedschap dat speciaal wordt gebruikt in extreme omgevingen met hoge temperaturen. Stem in met uw verder overleg.
Lees verderStuur onderzoek
CVD TaC Coating Waferdrager
Als professionele fabrikant en fabriek van CVD TaC Coating Wafer Carrier-producten in China, is VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier een wafer-draaggereedschap dat speciaal is ontworpen voor hoge temperaturen en corrosieve omgevingen bij de productie van halfgeleiders. Dit product heeft een hoge mechanische sterkte, uitstekende corrosieweerstand en thermische stabiliteit en biedt de noodzakelijke garantie voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten. Uw verdere vragen zijn welkom.
Lees verderStuur onderzoek
TaC-coatingverwarmer
VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van TaC Coating Heater in China. Dit product heeft een extreem hoog smeltpunt (ongeveer 3880°C). Het hoge smeltpunt van TaC Coating Heater maakt het mogelijk om bij extreem hoge temperaturen te werken, vooral bij de groei van epitaxiale lagen van galliumnitride (GaN) in het metaalorganische chemische dampdepositie (MOCVD). VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek
TaC-gecoate boorkop
Als professionele fabrikant en leverancier van TaC Coated Chuck in China, is de TaC Coating Chuck van VeTek Semiconductor speciaal ontworpen voor halfgeleiderovens. Met zijn hoge temperatuurbestendigheid, chemische inertie en uitstekende prestaties biedt de innovatieve technologie van Vetek Semiconductor een betrouwbare oplossing voor de halfgeleiderindustrie om productienormen van hoge kwaliteit te garanderen. Wij geloven dat onze producten u geavanceerde technologie en hoogwaardige productoplossingen kunnen bieden.
Lees verderStuur onderzoek
TaC-coatingbuis
Als professionele fabrikant en leverancier van TaC-coatingbuizen in China is de TaC-coatingbuis van VeTek Semiconductor een sleutelcomponent voor de succesvolle groei van eenkristallen van siliciumcarbide. Met zijn hoge temperatuurbestendigheid, chemische inertheid en uitstekende prestaties garandeert het de productie van hoogwaardige kristallen met consistente resultaten. Vertrouw op onze innovatieve oplossingen om uw PVT-methode SiC-kristalgroeiproces te verbeteren en uitstekende resultaten te bereiken. Welkom bij ons.
Lees verderStuur onderzoek
CVD TAC-coating
VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant, innovator en leider van CVD TAC Coating in China. We concentreren ons al vele jaren op verschillende CVD TAC Coating-producten, zoals CVD TaC-coatingafdekking, CVD TaC-coatingring, CVD TaC-coatingdrager, enz. VeTek Semiconductor ondersteunt op maat gemaakte productdiensten en bevredigende productprijzen, en kijkt uit naar uw verdere overleg.
Lees verderStuur onderzoek
Als professionele Tantaalcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Tantaalcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.
