VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.
De belangrijkste producten zijnTantaalcarbide coating defectorring, TaC gecoate afleidingsring, TaC gecoate halvemaandelen, Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf (Aixtron G10), TaC gecoate smeltkroes; TaC-gecoate ringen; TaC-gecoat poreus grafiet; Tantaalcarbide coating Grafiet Susceptor; TaC-gecoate geleidingsring; TaC tantaalcarbide gecoate plaat; TaC-gecoate wafer susceptor; TaC-coatingring; TaC-coating Grafietafdekking; TaC-gecoate brokenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.
TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:
De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het SiC-kristalgroeiproces van de PVT-methode.
●Temperatuurstabiliteit
●Ultrahoge zuiverheid
●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si
●Weerstand tegen thermische voorraad
●Sterke hechting op grafiet
●Conforme coatingdekking
● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)
● Inductieve verwarmingskroes
● Resistief verwarmingselement
● Hitteschild
Fysische eigenschappen van TaC-coating | |
Dikte | 14,3 (g/cm³) |
Specifieke emissiviteit | 0.3 |
Thermische uitzettingscoëfficiënt | 6.3 10-6/K |
Hardheid (HK) | 2000 Hongkong |
Weerstand | 1×10-5Ohm*cm |
Thermische stabiliteit | <2500℃ |
Grafietgrootte verandert | -10~-20um |
Dikte van de coating | ≥20um typische waarde (35um±10um) |
Element | Atoom procent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gemiddeld | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Hen | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van TaC-gecoate geleidingsringen in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in keramische coating. TaC-gecoate geleidingsringen worden voornamelijk gebruikt om de luchtstroom te geleiden en te controleren, waardoor de opbrengst van eenkristalgroei wordt verbeterd. Welkom bij ons voor meer informatie.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijven in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in keramische coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurbestendigheid. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden in China.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van TaC-gecoate grafietwafeldragers in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC- en TaC-coating. Onze TaC-gecoate grafietwaferdrager heeft een hogere temperatuurbestendigheid en slijtvast. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek