VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.
De belangrijkste producten zijnTantaalcarbide coating defectorring, TaC gecoate afleidingsring, TaC gecoate halvemaandelen, Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf (Aixtron G10), TaC gecoate smeltkroes; TaC-gecoate ringen; TaC-gecoat poreus grafiet; Tantaalcarbide coating Grafiet Susceptor; TaC-gecoate geleidingsring; TaC tantaalcarbide gecoate plaat; TaC-gecoate wafer susceptor; TaC-coatingring; TaC-coating Grafietafdekking; TaC-gecoate brokenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.
TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:
De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege het hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het SiC-kristalgroeiproces van de PVT-methode.
Temperatuurstabiliteit
Ultrahoge zuiverheid
Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si
Weerstand tegen thermische voorraad
Sterke hechting op grafiet
Conforme coatingdekking
Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)
Wafeldrager
Inductieve verwarmingskroes
Resistief verwarmingselement
Satelliet schijf
Douchekop
Geleidingsring
LED Epi-ontvanger
Injectie mondstuk
Maskerende ring
Hitteschild
Fysische eigenschappen van TaC-coating | |
Dikte | 14,3 (g/cm³) |
Specifieke emissiviteit | 0.3 |
Thermische uitzettingscoëfficiënt | 6.3 10-6/K |
Hardheid (HK) | 2000 Hongkong |
Weerstand | 1×10-5Ohm*cm |
Thermische stabiliteit | <2500℃ |
Grafietgrootte verandert | -10~-20um |
Dikte van de coating | ≥20um typische waarde (35um±10um) |
Element | Atoom procent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gemiddeld | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Poreus grafiet met TaC-coating is een geavanceerd halfgeleiderverwerkingsmateriaal geleverd door VeTek Semiconductor. Poreus Grafiet met TaC Coated combineert de voordelen van poreus grafiet en tantaalcarbide (TaC) coating, met goede thermische geleidbaarheid en gasdoorlaatbaarheid. VeTek Semiconductor streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen, en we kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van Tantalum Carbide Coating Cover in China. Wij richten ons op het leveren van zeer zuivere tantaalcarbideproducten die bestand zijn tegen hoge temperaturen. Onze tantaalcarbide gecoate afdekking heeft uitstekende prestaties en betrouwbaarheid en kan materialen effectief beschermen in extreem hoge temperaturen en corrosieve omgevingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekDe TaC-gecoate deflectorring van VeTek Semiconductor is een zeer gespecialiseerd onderdeel dat is ontworpen voor SiC-kristalgroeiprocessen. De TaC-coating biedt uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid om bestand te zijn tegen de hoge temperaturen en corrosieve omgevingen tijdens het kristalgroeiproces. Dit zorgt voor stabiele prestaties en een lange levensduur van het onderdeel, waardoor de frequentie van vervanging en uitvaltijd wordt verminderd. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate buizen voor kristalgroei in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in keramische coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurbestendigheid. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden in China.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een grootschalige TaC-gecoate ring voor fabrikant en innovator van SiC-epitaxiale reactoren in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid, hoge stabiliteit, uitstekende corrosieweerstand en hoge hechtsterkte. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een grootschalig Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part voor LPE-fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten zijn bestand tegen temperaturen boven 2000 graden Celsius en verlengen de levensduur van verbruiksartikelen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek