VeTek semiconductor is een toonaangevende fabrikant van tantaalcarbide coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-tantaalcarbide-coatingonderdelen, gesinterde TaC-coatingonderdelen voor SiC-kristalgroei of halfgeleider-epitaxieproces. VeTek Semiconductor is geslaagd voor ISO9001 en heeft een goede controle op de kwaliteit. VeTek Semiconductor wil innovator worden in de tantaalcarbidecoatingindustrie door voortdurend onderzoek en ontwikkeling van iteratieve technologieën.
De belangrijkste producten zijnTantaalcarbide coating defectorring, TaC gecoate afleidingsring, TaC gecoate halvemaandelen, Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf (Aixtron G10), TaC gecoate smeltkroes; TaC-gecoate ringen; TaC-gecoat poreus grafiet; Tantaalcarbide coating Grafiet Susceptor; TaC-gecoate geleidingsring; TaC tantaalcarbide gecoate plaat; TaC-gecoate wafer susceptor; TaC-coatingring; TaC-coating Grafietafdekking; TaC-gecoate brokenz., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.
TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) -proces. Het voordeel wordt getoond in onderstaande afbeelding:
De tantaalcarbide (TaC) coating heeft de aandacht getrokken vanwege zijn hoge smeltpunt tot 3880°C, uitstekende mechanische sterkte, hardheid en weerstand tegen thermische schokken, waardoor het een aantrekkelijk alternatief is voor samengestelde halfgeleider-epitaxieprocessen met hogere temperatuurvereisten. zoals het Aixtron MOCVD-systeem en het LPE SiC-epitaxyproces. Het heeft ook een brede toepassing in het SiC-kristalgroeiproces van de PVT-methode.
●Temperatuurstabiliteit
●Ultrahoge zuiverheid
●Weerstand tegen H2, NH3, SiH4,Si
●Weerstand tegen thermische voorraad
●Sterke hechting op grafiet
●Conforme coatingdekking
● Grootte tot 750 mm diameter (de enige fabrikant in China bereikt deze maat)
● Inductieve verwarmingskroes
● Resistief verwarmingselement
● Hitteschild
Fysische eigenschappen van TaC-coating | |
Dikte | 14,3 (g/cm³) |
Specifieke emissiviteit | 0.3 |
Thermische uitzettingscoëfficiënt | 6.3 10-6/K |
Hardheid (HK) | 2000 Hongkong |
Weerstand | 1×10-5Ohm*cm |
Thermische stabiliteit | <2500℃ |
Grafietgrootte verandert | -10~-20um |
Dikte van de coating | ≥20um typische waarde (35um±10um) |
Element | Atoom procent | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Gemiddeld | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Hen | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van TaC-gecoate ringen met drie bloemblaadjes in China. Wij zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC- en SiC-coating. Onze producten hebben een corrosieweerstand en hoge sterkte. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate klauwplaten in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurbestendigheid tot 2000 ℃. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden partners in China.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate afdekkingen in China. Wij zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC- en SiC-coating. Onze producten hebben een corrosieweerstand en hoge sterkte. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van op maat gemaakte Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon in China, al vele jaren gespecialiseerd in geavanceerde materialen. Onze Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon is speciaal ontworpen voor SiC epitaxiale apparatuur en zorgt voor uitstekende prestaties. Gemaakt van ultrapuur geïmporteerd grafiet, biedt het betrouwbaarheid en duurzaamheid. Bezoek onze fabriek in China om onze hoogwaardige Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon uit de eerste hand te ontdekken.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van op maat gemaakte Upper Halfmoon Part SiC gecoat in China en is al meer dan 20 jaar gespecialiseerd in geavanceerde materialen. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC gecoat is speciaal ontworpen voor SiC epitaxiale apparatuur en dient als een cruciaal onderdeel in de reactiekamer. Het is gemaakt van ultrazuiver grafiet van halfgeleiderkwaliteit en garandeert uitstekende prestaties. Wij nodigen u uit om onze fabriek in China te bezoeken.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van op maat gemaakte siliciumcarbide-epitaxywaferdragers in China. We zijn al meer dan 20 jaar gespecialiseerd in geavanceerd materiaal. We bieden een siliciumcarbide-epitaxywaferdrager voor het dragen van SiC-substraat en het kweken van SiC-epitaxylaag in de SiC-epitaxiereactor. Deze siliciumcarbide-epitaxywaferdrager is een belangrijk SiC-gecoat onderdeel van het halvemaandeel, bestand tegen hoge temperaturen, oxidatieweerstand en slijtvastheid. Wij heten u welkom om onze fabriek in China te bezoeken.
Lees verderStuur onderzoek