Tantaalcarbide gecoate boorkop

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate klauwplaten in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurbestendigheid tot 2000 ℃. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden partners in China.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

VeTek Semiconductor levert hoogwaardige tantaalcarbide gecoate chuck, SiC-coatingonderdelen met een concurrerende prijs. Welkom bij ons. VeTek Semiconductor tantaalcarbide gecoate chuck, speciaal ontworpen voor het AIXTRON G10 MOCVD-systeem. Dit accessoire verbetert de efficiëntie en kwaliteit bij de productie van halfgeleiders en levert uitstekende prestaties en betrouwbaarheid.

De boorkop is gemaakt van hoogwaardige materialen en met precisie vervaardigd en is voorzien van een grafietsubstraat gecoat met CVD-tantaalcarbide (TaC). Deze coating biedt uitstekende thermische stabiliteit, hoge zuiverheid en weerstand tegen hoge temperaturen. Het zorgt voor betrouwbare prestaties onder de veeleisende omstandigheden van MOCVD-processen.

De spankop kan worden aangepast aan verschillende formaten halfgeleiderwafels, waardoor hij geschikt is voor verschillende productievereisten. De robuuste constructie minimaliseert de uitvaltijd en onderhoudskosten die gepaard gaan met waferdragers en susceptors.

Met de VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck bereikt het AIXTRON G10 MOCVD-systeem een hogere efficiëntie en superieure resultaten bij de productie van halfgeleiders. De uitzonderlijke thermische stabiliteit, compatibiliteit met verschillende wafergroottes en betrouwbare prestaties maken het tot een essentieel hulpmiddel voor het optimaliseren van de productie-efficiëntie en het bereiken van uitstekende resultaten in de uitdagende MOCVD-omgeving.

Productparameter van de tantaalcarbide gecoate boorkop

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische expansiecoëfficiënt	6.3 10-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10-5 Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Bekledingsdikte	≥20um typische waarde (35um±10um)