VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van TaC-gecoate grafietwafeldragers in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC- en TaC-coating. Onze TaC-gecoate grafietwaferdrager heeft een hogere temperatuurbestendigheid en slijtvast. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
U kunt er zeker van zijn dat u op maat gemaakte TaC Coated Graphite Wafer Carrier van VeTek Semiconductor koopt. We kijken ernaar uit om met u samen te werken. Als u meer wilt weten, kunt u ons nu raadplegen, wij zullen u tijdig antwoorden!
VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier werkt rechtstreeks samen met wafers in de epitaxiereactor, waardoor de efficiëntie en prestaties worden verbeterd. Met de optie van siliciumcarbide- of tantaalcarbidecoating biedt VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier een langere levensduur, tot 2-3 keer langer met tantaalcarbide. Compatibel met verschillende machinemodellen, waaronder LPE SiC-epitaxieovens, JSG, NASO epitaxiale ovens.
VeTek Semiconductor TaC-gecoate grafietdrager zorgt voor nauwkeurige reactiestoichiometrie, voorkomt migratie van onzuiverheden en handhaaft temperatuurstabiliteit boven 2000 ° C. Het vertoont een opmerkelijke weerstand tegen H2, NH3, SiH4 en Si en beschermt tegen agressieve chemische omgevingen. Het is bestand tegen thermische schokken en maakt snelle operationele cycli mogelijk zonder delaminatie van de coating.
De VeTek Semiconductor TaC-coating garandeert ultrahoge zuiverheid, elimineert onzuiverheden en zorgt voor een conforme dekking die voldoet aan strenge maattoleranties. Met de geavanceerde grafietverwerkingsmogelijkheden van VeTek Semiconductor zijn we uitgerust om aan uw maatwerkbehoeften te voldoen. Of u nu coatingdiensten of uitgebreide oplossingen nodig heeft, ons team van deskundige ingenieurs staat klaar om de perfecte oplossing voor uw specifieke toepassingen te ontwerpen. Vertrouw erop dat wij hoogwaardige producten leveren die zijn afgestemd op uw vereisten en verwachtingen.
Fysische eigenschappen van TaC-coating | |
Dikte | 14,3 (g/cm³) |
Specifieke emissiviteit | 0.3 |
Thermische expansiecoëfficiënt | 6.3 10-6/K |
Hardheid (HK) | 2000 Hongkong |
Weerstand | 1×10-5 Ohm*cm |
Thermische stabiliteit | <2500℃ |
Grafietgrootte verandert | -10~-20um |
Bekledingsdikte | ≥20um typische waarde (35um±10um) |