TaC-coating voetstuksteunplaat

VeTek Semiconductor is een Chinese fabrikant en leverancier die voornamelijk CVD TaC-coating susceptoren, inlaatring, Wafer Chunck, TaC gecoate houder, TaC Coating voetstuksteunplaat produceert met vele jaren ervaring. Ik hoop een zakelijke relatie met u op te bouwen.

TaC-keramiek heeft een smeltpunt tot 3880℃, hoge hardheid (Mohs-hardheid 9 ~ 10), grote thermische geleidbaarheid (22W·m-1·K−1), grote buigsterkte (340 ~ 400MPa) en kleine thermische uitzetting coëfficiënt (6,6×10−6K−1), en vertonen uitstekende thermochemische stabiliteit en uitstekende fysische eigenschappen. Het heeft een goede chemische en mechanische compatibiliteit met grafiet- en C/C-composietmaterialen, dus TaC-coating wordt veel gebruikt in thermische bescherming in de lucht- en ruimtevaart, monokristallijne groei en epitaxiale reactoren zoals Aixtron, LPE EPI-reactor in de halfgeleiderindustrie. TaC-gecoat grafiet heeft een betere chemische corrosieweerstand dan kale steeninkt of SiC-gecoat grafiet, kan stabiel worden gebruikt bij 2200 ° hoge temperatuur, reageert niet met veel metalen elementen, is de derde generatie halfgeleider-monokristalgroei, epitaxie en wafer-etsscène van de best presterende coating, kan het proces van temperatuur- en onzuiverheidscontrole aanzienlijk verbeteren, bereiding van hoogwaardige siliciumcarbidewafels en gerelateerde epitaxiale wafels. Het is vooral geschikt voor het kweken van GaN- of AlN-enkelkristal in MOCVD-apparatuur en SiC-enkelkristal in PVT-apparatuur, en de kwaliteit van het gekweekte eenkristal is duidelijk verbeterd.

TaC-coating en SiC-coating Reserveonderdelen die we kunnen maken:

Parameter van TaC-coating:

Industriële keten:

Productie winkel