China SiC-epitaxieproces Fabrikant, leverancier, fabriek

De unieke carbidecoatings van VeTek Semiconductor bieden superieure bescherming voor grafietonderdelen in het SiC Epitaxy-proces voor de verwerking van veeleisende halfgeleider- en composiethalfgeleidermaterialen. Het resultaat is een langere levensduur van de grafietcomponenten, behoud van reactiestoichiometrie, remming van de migratie van onzuiverheden naar epitaxie- en kristalgroeitoepassingen, wat resulteert in een hogere opbrengst en kwaliteit.

Onze tantaalcarbide (TaC) coatings beschermen kritische oven- en reactorcomponenten bij hoge temperaturen (tot 2200°C) tegen hete ammoniak, waterstof, siliciumdampen en gesmolten metalen. VeTek Semiconductor heeft een breed scala aan grafietverwerkings- en meetmogelijkheden om aan uw aangepaste vereisten te voldoen, zodat we een betalende coating of full-service kunnen aanbieden, waarbij ons team van deskundige ingenieurs klaar staat om de juiste oplossing voor u en uw specifieke toepassing te ontwerpen .

Samengestelde halfgeleiderkristallen

VeTek Semiconductor kan voor diverse componenten en dragers speciale TaC-coatings leveren. Via het toonaangevende coatingproces van VeTek Semiconductor kan de TaC-coating een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid verkrijgen, waardoor de productkwaliteit van kristal TaC/GaN)- en EPl-lagen wordt verbeterd en de levensduur van kritische reactorcomponenten wordt verlengd.

Thermische isolatoren

SiC-, GaN- en AlN-kristalgroeicomponenten, waaronder smeltkroezen, zaadhouders, deflectors en filters. Industriële assemblages inclusief resistieve verwarmingselementen, mondstukken, afschermingsringen en soldeerarmaturen, GaN- en SiC epitaxiale CVD-reactorcomponenten inclusief waferdragers, satellietschotels, douchekoppen, doppen en sokkels, MOCVD-componenten.

Doel:

LED (Light Emitting Diode) Waferdrager

ALD-ontvanger (halfgeleider).

EPI-receptor (SiC-epitaxieproces)

Satelliet susceptor met TaC-coating TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating onderdelen Halfmoon-onderdelen met TaC-coating

Vergelijking van SiC-coating en TaC-coating:

	SiC	TaC
Belangrijkste kenmerken	Ultrahoge zuiverheid, uitstekende plasmaweerstand	Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (procesconformiteit bij hoge temperaturen)
Puurheid	>99,9999%	>99,9999%
Dichtheid (g/cm3)	3.21	15
Hardheid (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Weerstand [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Thermische geleidbaarheid (W/m-K)	200-360	22
Coëfficiënt van thermische uitzetting (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Sollicitatie	Halfgeleiderapparatuur Keramische mal (focusring, douchekop, dummywafel)	SiC Eenkristalgroei, Epi, UV LED-apparatuuronderdelen

View as

CVD TaC-coatingdrager

De CVD TaC-coatingdrager van VeTek Semiconductor is voornamelijk ontworpen voor het epitaxiale proces van de productie van halfgeleiders. Het ultrahoge smeltpunt van CVD TaC Coating Carrier, uitstekende corrosieweerstand en uitstekende thermische stabiliteit bepalen de onmisbaarheid van dit product in epitaxiale halfgeleiderprocessen. We hopen oprecht een langdurige zakelijke relatie met u op te bouwen.

Lees verder Stuur onderzoek

Geleidingsring met TaC-coating

De TaC Coating Guide Ring van VeTek Semiconductor wordt gemaakt door tantaalcarbide coating aan te brengen op grafietonderdelen met behulp van een zeer geavanceerde techniek genaamd chemische dampdepositie (CVD). Deze methode is beproefd en biedt uitzonderlijke coatingeigenschappen. Door gebruik te maken van de TaC Coating Guide Ring kan de levensduur van grafietcomponenten aanzienlijk worden verlengd, kan de beweging van grafietverontreinigingen worden onderdrukt en kan de SiC- en AIN-monokristalkwaliteit betrouwbaar worden gehandhaafd. Welkom bij ons.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-gecoate grafiet susceptor

De TaC Coated Graphite Susceptor van VeTek Semiconductor maakt gebruik van de chemische dampafzettingsmethode (CVD) om tantaalcarbidecoating op het oppervlak van grafietonderdelen aan te brengen. Dit proces is het meest volwassen en heeft de beste coatingeigenschappen. TaC Coated Graphite Susceptor kan de levensduur van grafietcomponenten verlengen, de migratie van grafietonzuiverheden remmen en de kwaliteit van epitaxie garanderen. VeTek Semiconductor kijkt uit naar uw aanvraag.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-coating susceptor

VeTek Semiconductor presenteert de TaC Coating Susceptor. Met zijn uitzonderlijke TaC-coating biedt deze susceptor een groot aantal voordelen die hem onderscheiden van conventionele oplossingen. De TaC Coating Susceptor van VeTek Semiconductor is naadloos te integreren in bestaande systemen en garandeert compatibiliteit en efficiënte werking. De betrouwbare prestaties en de hoogwaardige TaC-coating leveren consistent uitzonderlijke resultaten op bij SiC-epitaxieprocessen. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

Lees verder Stuur onderzoek

Rotatieplaat met TaC-coating

De TaC Coating Rotation Plate van VeTek Semiconductor beschikt over een uitstekende TaC-coating. Met zijn uitzonderlijke TaC-coating beschikt de TaC Coating Rotation Plate over een opmerkelijke weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid, waardoor deze zich onderscheidt van traditionele oplossingen. We zijn toegewijd aan het leveren van kwaliteitsproducten tegen concurrerende prijzen. prijzen en kijk ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-coatingplaat

De TaC-coatingplaat van VeTek Semiconductor is een opmerkelijk product dat uitzonderlijke eigenschappen en voordelen biedt. Onze TaC Coating Plate is met precisie ontworpen en tot in de perfectie ontwikkeld en is specifiek op maat gemaakt voor verschillende toepassingen in monokristallijne groeiprocessen van siliciumcarbide (SiC). De nauwkeurige afmetingen en robuuste constructie van de TaC Coating Plate maken hem eenvoudig te integreren in bestaande systemen, waardoor naadloze compatibiliteit wordt gegarandeerd en efficiënte werking. De betrouwbare prestaties en hoogwaardige coating dragen bij aan consistente en uniforme resultaten bij SiC-kristalgroeitoepassingen. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner i......

Lees verder Stuur onderzoek

<...2 3 4 5 6...7 >

Als professionele SiC-epitaxieproces fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame SiC-epitaxieproces uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.