De unieke carbidecoatings van VeTek Semiconductor bieden superieure bescherming voor grafietonderdelen in het SiC Epitaxy-proces voor de verwerking van veeleisende halfgeleider- en composiethalfgeleidermaterialen. Het resultaat is een langere levensduur van de grafietcomponenten, behoud van reactiestoichiometrie, remming van de migratie van onzuiverheden naar epitaxie- en kristalgroeitoepassingen, wat resulteert in een hogere opbrengst en kwaliteit.
Onze tantaalcarbide (TaC) coatings beschermen kritische oven- en reactorcomponenten bij hoge temperaturen (tot 2200°C) tegen hete ammoniak, waterstof, siliciumdampen en gesmolten metalen. VeTek Semiconductor heeft een breed scala aan grafietverwerkings- en meetmogelijkheden om aan uw aangepaste vereisten te voldoen, zodat we een betalende coating of full-service kunnen aanbieden, waarbij ons team van deskundige ingenieurs klaar staat om de juiste oplossing voor u en uw specifieke toepassing te ontwerpen .
Samengestelde halfgeleiderkristallen
VeTek Semiconductor kan voor diverse componenten en dragers speciale TaC-coatings leveren. Via het toonaangevende coatingproces van VeTek Semiconductor kan de TaC-coating een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid verkrijgen, waardoor de productkwaliteit van kristal TaC/GaN)- en EPl-lagen wordt verbeterd en de levensduur van kritische reactorcomponenten wordt verlengd.
Thermische isolatoren
SiC-, GaN- en AlN-kristalgroeicomponenten, waaronder smeltkroezen, zaadhouders, deflectors en filters. Industriële assemblages inclusief resistieve verwarmingselementen, mondstukken, afschermingsringen en soldeerarmaturen, GaN- en SiC epitaxiale CVD-reactorcomponenten inclusief waferdragers, satellietschotels, douchekoppen, doppen en sokkels, MOCVD-componenten.
LED (Light Emitting Diode) Waferdrager
ALD-ontvanger (halfgeleider).
EPI-receptor (SiC-epitaxieproces)
Satelliet susceptor met TaC-coating TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating onderdelen Halfmoon-onderdelen met TaC-coating
SiC | TaC | |
Belangrijkste kenmerken | Ultrahoge zuiverheid, uitstekende plasmaweerstand | Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (procesconformiteit bij hoge temperaturen) |
Puurheid | >99,9999% | >99,9999% |
Dichtheid (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Hardheid (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Weerstand [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Thermische geleidbaarheid (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Coëfficiënt van thermische uitzetting (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Sollicitatie | Halfgeleiderapparatuur Keramische mal (focusring, douchekop, dummywafel) | SiC Eenkristalgroei, Epi, UV LED-apparatuuronderdelen |
VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van Tantalum Carbide Coating Cover in China. Wij richten ons op het leveren van zeer zuivere tantaalcarbideproducten die bestand zijn tegen hoge temperaturen. Onze tantaalcarbide gecoate afdekking heeft uitstekende prestaties en betrouwbaarheid en kan materialen effectief beschermen in extreem hoge temperaturen en corrosieve omgevingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekDe TaC-gecoate deflectorring van VeTek Semiconductor is een zeer gespecialiseerd onderdeel dat is ontworpen voor SiC-kristalgroeiprocessen. De TaC-coating biedt uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid om bestand te zijn tegen de hoge temperaturen en corrosieve omgevingen tijdens het kristalgroeiproces. Dit zorgt voor stabiele prestaties en een lange levensduur van het onderdeel, waardoor de frequentie van vervanging en uitvaltijd wordt verminderd. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een grootschalige TaC-gecoate ring voor fabrikant en innovator van SiC-epitaxiale reactoren in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid, hoge stabiliteit, uitstekende corrosieweerstand en hoge hechtsterkte. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een grootschalig Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part voor LPE-fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten zijn bestand tegen temperaturen boven 2000 graden Celsius en verlengen de levensduur van verbruiksartikelen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijven in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in keramische coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurbestendigheid. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden in China.
Lees verderStuur onderzoek