De unieke carbidecoatings van VeTek Semiconductor bieden superieure bescherming voor grafietonderdelen in het SiC Epitaxy-proces voor de verwerking van veeleisende halfgeleider- en composiethalfgeleidermaterialen. Het resultaat is een langere levensduur van de grafietcomponenten, behoud van reactiestoichiometrie, remming van de migratie van onzuiverheden naar epitaxie- en kristalgroeitoepassingen, wat resulteert in een hogere opbrengst en kwaliteit.
Onze tantaalcarbide (TaC) coatings beschermen kritische oven- en reactorcomponenten bij hoge temperaturen (tot 2200°C) tegen hete ammoniak, waterstof, siliciumdampen en gesmolten metalen. VeTek Semiconductor heeft een breed scala aan grafietverwerkings- en meetmogelijkheden om aan uw aangepaste vereisten te voldoen, zodat we een betalende coating of full-service kunnen aanbieden, waarbij ons team van deskundige ingenieurs klaar staat om de juiste oplossing voor u en uw specifieke toepassing te ontwerpen .
Samengestelde halfgeleiderkristallen
VeTek Semiconductor kan voor diverse componenten en dragers speciale TaC-coatings leveren. Via het toonaangevende coatingproces van VeTek Semiconductor kan de TaC-coating een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid verkrijgen, waardoor de productkwaliteit van kristal TaC/GaN)- en EPl-lagen wordt verbeterd en de levensduur van kritische reactorcomponenten wordt verlengd.
Thermische isolatoren
SiC-, GaN- en AlN-kristalgroeicomponenten, waaronder smeltkroezen, zaadhouders, deflectors en filters. Industriële assemblages inclusief resistieve verwarmingselementen, mondstukken, afschermingsringen en soldeerarmaturen, GaN- en SiC epitaxiale CVD-reactorcomponenten inclusief waferdragers, satellietschotels, douchekoppen, doppen en sokkels, MOCVD-componenten.
LED (Light Emitting Diode) Waferdrager
ALD-ontvanger (halfgeleider).
EPI-receptor (SiC-epitaxieproces)
Satelliet susceptor met TaC-coating TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating onderdelen Halfmoon-onderdelen met TaC-coating
SiC | TaC | |
Belangrijkste kenmerken | Ultrahoge zuiverheid, uitstekende plasmaweerstand | Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (procesconformiteit bij hoge temperaturen) |
Puurheid | >99,9999% | >99,9999% |
Dichtheid (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Hardheid (kg/mm 2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Weerstand [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Thermische geleidbaarheid (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Coëfficiënt van thermische uitzetting (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Sollicitatie | Halfgeleiderapparatuur Keramische mal (focusring, douchekop, dummywafel) | SiC Eenkristalgroei, Epi, UV LED-apparatuuronderdelen |
VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant van GaN op SiC epi-susceptor, CVD SiC-coating en CVD TAC COATING grafiet-susceptor in China. Onder hen speelt GaN op SiC epi-susceptor een cruciale rol bij de verwerking van halfgeleiders. Door zijn uitstekende thermische geleidbaarheid, verwerkingsvermogen bij hoge temperaturen en chemische stabiliteit, garandeert het de hoge efficiëntie en materiaalkwaliteit van het GaN epitaxiale groeiproces. Wij kijken oprecht uit naar uw verdere overleg.
Lees verderStuur onderzoekDe CVD TaC-coatingdrager van VeTek Semiconductor is voornamelijk ontworpen voor het epitaxiale proces van de productie van halfgeleiders. Het ultrahoge smeltpunt van CVD TaC Coating Carrier, uitstekende corrosieweerstand en uitstekende thermische stabiliteit bepalen de onmisbaarheid van dit product in epitaxiale halfgeleiderprocessen. We hopen oprecht een langdurige zakelijke relatie met u op te bouwen.
Lees verderStuur onderzoekDe TaC Coating Guide Ring van VeTek Semiconductor wordt gemaakt door tantaalcarbide coating aan te brengen op grafietonderdelen met behulp van een zeer geavanceerde techniek genaamd chemische dampdepositie (CVD). Deze methode is beproefd en biedt uitzonderlijke coatingeigenschappen. Door gebruik te maken van de TaC Coating Guide Ring kan de levensduur van grafietcomponenten aanzienlijk worden verlengd, kan de beweging van grafietverontreinigingen worden onderdrukt en kan de SiC- en AIN-monokristalkwaliteit betrouwbaar worden gehandhaafd. Welkom bij ons.
Lees verderStuur onderzoekDe TaC Coated Graphite Susceptor van VeTek Semiconductor maakt gebruik van de chemische dampafzettingsmethode (CVD) om tantaalcarbidecoating op het oppervlak van grafietonderdelen aan te brengen. Dit proces is het meest volwassen en heeft de beste coatingeigenschappen. TaC Coated Graphite Susceptor kan de levensduur van grafietcomponenten verlengen, de migratie van grafietonzuiverheden remmen en de kwaliteit van epitaxie garanderen. VeTek Semiconductor kijkt uit naar uw aanvraag.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor presenteert de TaC Coating Susceptor. Met zijn uitzonderlijke TaC-coating biedt deze susceptor een groot aantal voordelen die hem onderscheiden van conventionele oplossingen. De TaC Coating Susceptor van VeTek Semiconductor is naadloos te integreren in bestaande systemen en garandeert compatibiliteit en efficiënte werking. De betrouwbare prestaties en de hoogwaardige TaC-coating leveren consistent uitzonderlijke resultaten op bij SiC-epitaxieprocessen. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoekDe TaC Coating Rotation Plate van VeTek Semiconductor beschikt over een uitstekende TaC-coating. Met zijn uitzonderlijke TaC-coating beschikt de TaC Coating Rotation Plate over een opmerkelijke weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid, waardoor deze zich onderscheidt van traditionele oplossingen. We zijn toegewijd aan het leveren van kwaliteitsproducten tegen concurrerende prijzen. prijzen en kijk ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.
Lees verderStuur onderzoek