China SiC-epitaxieproces Fabrikant, leverancier, fabriek

De unieke carbidecoatings van VeTek Semiconductor bieden superieure bescherming voor grafietonderdelen in het SiC Epitaxy-proces voor de verwerking van veeleisende halfgeleider- en composiethalfgeleidermaterialen. Het resultaat is een langere levensduur van de grafietcomponenten, behoud van reactiestoichiometrie, remming van de migratie van onzuiverheden naar epitaxie- en kristalgroeitoepassingen, wat resulteert in een hogere opbrengst en kwaliteit.

Onze tantaalcarbide (TaC) coatings beschermen kritische oven- en reactorcomponenten bij hoge temperaturen (tot 2200°C) tegen hete ammoniak, waterstof, siliciumdampen en gesmolten metalen. VeTek Semiconductor heeft een breed scala aan grafietverwerkings- en meetmogelijkheden om aan uw aangepaste vereisten te voldoen, zodat we een betalende coating of full-service kunnen aanbieden, waarbij ons team van deskundige ingenieurs klaar staat om de juiste oplossing voor u en uw specifieke toepassing te ontwerpen .

Samengestelde halfgeleiderkristallen

VeTek Semiconductor kan voor diverse componenten en dragers speciale TaC-coatings leveren. Via het toonaangevende coatingproces van VeTek Semiconductor kan de TaC-coating een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid verkrijgen, waardoor de productkwaliteit van kristal TaC/GaN)- en EPl-lagen wordt verbeterd en de levensduur van kritische reactorcomponenten wordt verlengd.

Thermische isolatoren

SiC-, GaN- en AlN-kristalgroeicomponenten, waaronder smeltkroezen, zaadhouders, deflectors en filters. Industriële assemblages inclusief resistieve verwarmingselementen, mondstukken, afschermingsringen en soldeerarmaturen, GaN- en SiC epitaxiale CVD-reactorcomponenten inclusief waferdragers, satellietschotels, douchekoppen, doppen en sokkels, MOCVD-componenten.

Doel:

LED (Light Emitting Diode) Waferdrager

ALD-ontvanger (halfgeleider).

EPI-receptor (SiC-epitaxieproces)

Satelliet susceptor met TaC-coating TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating onderdelen Halfmoon-onderdelen met TaC-coating

Vergelijking van SiC-coating en TaC-coating:

	SiC	TaC
Belangrijkste kenmerken	Ultrahoge zuiverheid, uitstekende plasmaweerstand	Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (procesconformiteit bij hoge temperaturen)
Puurheid	>99,9999%	>99,9999%
Dichtheid (g/cm3)	3.21	15
Hardheid (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Weerstand [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Thermische geleidbaarheid (W/m-K)	200-360	22
Coëfficiënt van thermische uitzetting (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Sollicitatie	Halfgeleiderapparatuur Keramische mal (focusring, douchekop, dummywafel)	SiC Eenkristalgroei, Epi, UV LED-apparatuuronderdelen

View as

Tantaalcarbide ring

Als geavanceerde fabrikant en producent van Tantalum Carbide Ring-producten in China heeft VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring een extreem hoge hardheid, slijtvastheid, hoge temperatuurbestendigheid en chemische stabiliteit, en wordt het veel gebruikt in de halfgeleiderproductie. Vooral bij CVD, PVD, ionenimplantatieproces, etsproces en wafelverwerking en transport is het een onmisbaar product voor de verwerking en productie van halfgeleiders. Ik kijk uit naar uw verdere overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

Ondersteuning van tantaalcarbidecoating

As a professional Tantalum Carbide Coating Support product manufacturer and factory in China, VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support is usually used for surface coating of structural components or support components in semiconductor equipment, especially for surface protection of key equipment components in semiconductor manufacturing processes such as CVD and PVD. Welcome your further consultation.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide geleidering

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van Tantalum Carbide Guide Ring-producten in China. Onze Tantalum Carbide (TaC) geleidingsring is een hoogwaardig ringonderdeel gemaakt van tantaalcarbide, dat vaak wordt gebruikt in halfgeleiderverwerkingsapparatuur, vooral in omgevingen met hoge temperaturen en zeer corrosieve omstandigheden zoals CVD, PVD, etsen en diffusie. VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie en verwelkomt uw verdere vragen.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC Coating Rotatie Susceptor

Als professionele fabrikant, innovator en leider van TaC Coating Rotation Susceptor-producten in China. VeTek Semiconductor TaC Coating Rotation Susceptor wordt meestal geïnstalleerd in apparatuur voor chemische dampafzetting (CVD) en moleculaire bundelepitaxie (MBE) om wafers te ondersteunen en te roteren om een uniforme materiaalafzetting en een efficiënte reactie te garanderen. Het is een sleutelcomponent bij de verwerking van halfgeleiders. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

CVD TaC-coatingkroes

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van CVD TaC Coating Crucible-producten in China. CVD TaC Coating Crucible is gebaseerd op tantaalkoolstof (TaC) coating. De tantaalkoolstofcoating wordt gelijkmatig bedekt op het oppervlak van de smeltkroes door middel van een chemisch dampafzettingsproces (CVD) om de hittebestendigheid en corrosieweerstand te verbeteren. Het is een materiaalgereedschap dat speciaal wordt gebruikt in extreme omgevingen met hoge temperaturen. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

CVD TaC Coating Waferdrager

Als professionele fabrikant en fabriek van CVD TaC Coating Wafer Carrier-producten in China, is VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier een wafer-draaggereedschap dat speciaal is ontworpen voor hoge temperaturen en corrosieve omgevingen bij de productie van halfgeleiders. en CVD TaC Coating Wafer Carrier heeft een hoge mechanische sterkte, uitstekende corrosieweerstand en thermische stabiliteit, wat de noodzakelijke garantie biedt voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten. Uw verdere vragen zijn welkom.

Lees verder Stuur onderzoek

<1 2 3 4 5...7 >

Als professionele SiC-epitaxieproces fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame SiC-epitaxieproces uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.