China SiC-epitaxieproces Fabrikant, leverancier, fabriek

De unieke carbidecoatings van VeTek Semiconductor bieden superieure bescherming voor grafietonderdelen in het SiC Epitaxy-proces voor de verwerking van veeleisende halfgeleider- en composiethalfgeleidermaterialen. Het resultaat is een langere levensduur van de grafietcomponenten, behoud van reactiestoichiometrie, remming van de migratie van onzuiverheden naar epitaxie- en kristalgroeitoepassingen, wat resulteert in een hogere opbrengst en kwaliteit.

Onze tantaalcarbide (TaC) coatings beschermen kritische oven- en reactorcomponenten bij hoge temperaturen (tot 2200°C) tegen hete ammoniak, waterstof, siliciumdampen en gesmolten metalen. VeTek Semiconductor heeft een breed scala aan grafietverwerkings- en meetmogelijkheden om aan uw aangepaste vereisten te voldoen, zodat we een betalende coating of full-service kunnen aanbieden, waarbij ons team van deskundige ingenieurs klaar staat om de juiste oplossing voor u en uw specifieke toepassing te ontwerpen .

Samengestelde halfgeleiderkristallen

VeTek Semiconductor kan voor diverse componenten en dragers speciale TaC-coatings leveren. Via het toonaangevende coatingproces van VeTek Semiconductor kan de TaC-coating een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid verkrijgen, waardoor de productkwaliteit van kristal TaC/GaN)- en EPl-lagen wordt verbeterd en de levensduur van kritische reactorcomponenten wordt verlengd.

Thermische isolatoren

SiC-, GaN- en AlN-kristalgroeicomponenten, waaronder smeltkroezen, zaadhouders, deflectors en filters. Industriële assemblages inclusief resistieve verwarmingselementen, mondstukken, afschermingsringen en soldeerarmaturen, GaN- en SiC epitaxiale CVD-reactorcomponenten inclusief waferdragers, satellietschotels, douchekoppen, doppen en sokkels, MOCVD-componenten.

Doel:

LED (Light Emitting Diode) Waferdrager

ALD-ontvanger (halfgeleider).

EPI-receptor (SiC-epitaxieproces)

Satelliet susceptor met TaC-coating TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating onderdelen Halfmoon-onderdelen met TaC-coating

Vergelijking van SiC-coating en TaC-coating:

	SiC	TaC
Belangrijkste kenmerken	Ultrahoge zuiverheid, uitstekende plasmaweerstand	Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (procesconformiteit bij hoge temperaturen)
Puurheid	>99,9999%	>99,9999%
Dichtheid (g/cm3)	3.21	15
Hardheid (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Weerstand [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Thermische geleidbaarheid (W/m-K)	200-360	22
Coëfficiënt van thermische uitzetting (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Sollicitatie	Halfgeleiderapparatuur Keramische mal (focusring, douchekop, dummywafel)	SiC Eenkristalgroei, Epi, UV LED-apparatuuronderdelen

View as

CVD TaC Coating Waferdrager

Als professionele fabrikant en fabriek van CVD TaC Coating Wafer Carrier-producten in China, is VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier een wafer-draaggereedschap dat speciaal is ontworpen voor hoge temperaturen en corrosieve omgevingen bij de productie van halfgeleiders. Dit product heeft een hoge mechanische sterkte, uitstekende corrosieweerstand en thermische stabiliteit en biedt de noodzakelijke garantie voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten. Uw verdere vragen zijn welkom.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-coatingverwarmer

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van TaC Coating Heater in China. Dit product heeft een extreem hoog smeltpunt (ongeveer 3880°C). Het hoge smeltpunt van TaC Coating Heater maakt het mogelijk om bij extreem hoge temperaturen te werken, vooral bij de groei van epitaxiale lagen van galliumnitride (GaN) in het metaalorganische chemische dampdepositie (MOCVD). VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-gecoate boorkop

Als professionele fabrikant en leverancier van TaC Coated Chuck in China, is de TaC Coating Chuck van VeTek Semiconductor speciaal ontworpen voor halfgeleiderovens. Met zijn hoge temperatuurbestendigheid, chemische inertie en uitstekende prestaties biedt de innovatieve technologie van Vetek Semiconductor een betrouwbare oplossing voor de halfgeleiderindustrie om productienormen van hoge kwaliteit te garanderen. Wij geloven dat onze producten u geavanceerde technologie en hoogwaardige productoplossingen kunnen bieden.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-coatingbuis

Als professionele fabrikant en leverancier van TaC-coatingbuizen in China is de TaC-coatingbuis van VeTek Semiconductor een sleutelcomponent voor de succesvolle groei van eenkristallen van siliciumcarbide. Met zijn hoge temperatuurbestendigheid, chemische inertheid en uitstekende prestaties garandeert het de productie van hoogwaardige kristallen met consistente resultaten. Vertrouw op onze innovatieve oplossingen om uw PVT-methode SiC-kristalgroeiproces te verbeteren en uitstekende resultaten te bereiken. Welkom bij ons.

Lees verder Stuur onderzoek

CVD TAC-coating

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant, innovator en leider van CVD TAC Coating in China. We concentreren ons al vele jaren op verschillende CVD TAC Coating-producten, zoals CVD TaC-coatingafdekking, CVD TaC-coatingring, CVD TaC-coatingdrager, enz. VeTek Semiconductor ondersteunt op maat gemaakte productdiensten en bevredigende productprijzen, en kijkt uit naar uw verdere overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-coating reserveonderdeel

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant van TaC Coating Plate en andere TaC Coating-reserveonderdelen in China. TaC Coating wordt momenteel voornamelijk gebruikt in processen zoals monokristalgroei van siliciumcarbide (PVT-methode), epitaxiale schijf (inclusief siliciumcarbide-epitaxie, LED-epitaxie), enz. Gecombineerd met de goede stabiliteit op lange termijn van TaC Coating Plate, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate is de maatstaf geworden voor TaC Coating-reserveonderdelen. We kijken ernaar uit dat u onze langetermijnpartner wordt.

Lees verder Stuur onderzoek

<1 2 3 4 5...6 >

Als professionele SiC-epitaxieproces fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame SiC-epitaxieproces uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.