China SiC-epitaxieproces Fabrikant, leverancier, fabriek

De unieke carbidecoatings van VeTek Semiconductor bieden superieure bescherming voor grafietonderdelen in het SiC Epitaxy-proces voor de verwerking van veeleisende halfgeleider- en composiethalfgeleidermaterialen. Het resultaat is een langere levensduur van de grafietcomponenten, behoud van reactiestoichiometrie, remming van de migratie van onzuiverheden naar epitaxie- en kristalgroeitoepassingen, wat resulteert in een hogere opbrengst en kwaliteit.

Onze tantaalcarbide (TaC) coatings beschermen kritische oven- en reactorcomponenten bij hoge temperaturen (tot 2200°C) tegen hete ammoniak, waterstof, siliciumdampen en gesmolten metalen. VeTek Semiconductor heeft een breed scala aan grafietverwerkings- en meetmogelijkheden om aan uw aangepaste vereisten te voldoen, zodat we een betalende coating of full-service kunnen aanbieden, waarbij ons team van deskundige ingenieurs klaar staat om de juiste oplossing voor u en uw specifieke toepassing te ontwerpen .

Samengestelde halfgeleiderkristallen

VeTek Semiconductor kan voor diverse componenten en dragers speciale TaC-coatings leveren. Via het toonaangevende coatingproces van VeTek Semiconductor kan de TaC-coating een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid verkrijgen, waardoor de productkwaliteit van kristal TaC/GaN)- en EPl-lagen wordt verbeterd en de levensduur van kritische reactorcomponenten wordt verlengd.

Thermische isolatoren

SiC-, GaN- en AlN-kristalgroeicomponenten, waaronder smeltkroezen, zaadhouders, deflectors en filters. Industriële assemblages inclusief resistieve verwarmingselementen, mondstukken, afschermingsringen en soldeerarmaturen, GaN- en SiC epitaxiale CVD-reactorcomponenten inclusief waferdragers, satellietschotels, douchekoppen, doppen en sokkels, MOCVD-componenten.

Doel:

LED (Light Emitting Diode) Waferdrager

ALD-ontvanger (halfgeleider).

EPI-receptor (SiC-epitaxieproces)

Satelliet susceptor met TaC-coating TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating onderdelen Halfmoon-onderdelen met TaC-coating

Vergelijking van SiC-coating en TaC-coating:

	SiC	TaC
Belangrijkste kenmerken	Ultrahoge zuiverheid, uitstekende plasmaweerstand	Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (procesconformiteit bij hoge temperaturen)
Puurheid	>99,9999%	>99,9999%
Dichtheid (g/cm3)	3.21	15
Hardheid (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Weerstand [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Thermische geleidbaarheid (W/m-K)	200-360	22
Coëfficiënt van thermische uitzetting (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Sollicitatie	Halfgeleiderapparatuur Keramische mal (focusring, douchekop, dummywafel)	SiC Eenkristalgroei, Epi, UV LED-apparatuuronderdelen

View as

CVD TaC-coatingafdekking

De CVD TaC-coatingafdekking geleverd door VeTek Semiconductor is een zeer gespecialiseerd onderdeel dat speciaal is ontworpen voor veeleisende toepassingen. Met zijn geavanceerde kenmerken en uitzonderlijke prestaties biedt onze CVD TaC-coatinghoes verschillende belangrijke voordelen. Onze CVD TaC-coatinghoes biedt de noodzakelijke bescherming en prestaties die nodig zijn voor succes. We kijken ernaar uit om mogelijke samenwerking met u te verkennen!

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-coating planetaire susceptor

VeTek Semiconductor'TaC Coating Planetary Susceptor is een uitzonderlijk product voor Aixtron-epitaxieapparatuur. De robuuste TaC-coating biedt uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid. Deze unieke combinatie zorgt voor betrouwbare prestaties en een lange levensduur, zelfs in veeleisende omgevingen. VeTek streeft ernaar producten van hoge kwaliteit te leveren en als langetermijnpartner op de Chinese markt te dienen met concurrerende prijzen.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-coating voetstuksteunplaat

De TaC Coating Pedestal Support Plate van VeTek Semiconductor is een uiterst nauwkeurig product dat is ontworpen om te voldoen aan de specifieke eisen van halfgeleider-epitaxieprocessen. Met zijn TaC-coating, hoge temperatuurbestendigheid en chemische inertie stelt ons product u in staat hoogwaardige EPI-lagen van hoge kwaliteit te produceren. Wij streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-coatinghouder

De TaC Coating Chuck van VeTek Semiconductor is voorzien van een hoogwaardige TaC-coating, bekend om zijn uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid, vooral bij siliciumcarbide (SiC) epitaxie (EPI) processen. Met zijn uitzonderlijke kenmerken en superieure prestaties biedt onze TaC Coating Chuck verschillende belangrijke voordelen. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

Lees verder Stuur onderzoek

LPE SiC EPI Halve Maan

LPE SiC Epi Halfmoon van VeTek Semiconductor, een revolutionair product ontworpen om SiC-epitaxieprocessen in LPE-reactoren te verbeteren. Deze geavanceerde oplossing beschikt over verschillende belangrijke kenmerken die superieure prestaties en efficiëntie tijdens uw productieactiviteiten garanderen. Ik kijk ernaar uit om een langdurige samenwerking met u op te zetten.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide TaC gecoate halvemaan

VeTek Semiconductor is de toonaangevende fabrikant en leverancier in China voor Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, wij zijn gespecialiseerd in R&D en productie, kunnen de kwaliteit goed controleren en een concurrerende prijs bieden. U bent van harte welkom om onze fabriek te bezoeken voor verdere discussie over een langdurige samenwerking.

Lees verder Stuur onderzoek

<...3 4 5 6 7 >

Als professionele SiC-epitaxieproces fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame SiC-epitaxieproces uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.