China SiC-epitaxieproces Fabrikant, leverancier, fabriek

De unieke carbidecoatings van VeTek Semiconductor bieden superieure bescherming voor grafietonderdelen in het SiC Epitaxy-proces voor de verwerking van veeleisende halfgeleider- en composiethalfgeleidermaterialen. Het resultaat is een langere levensduur van de grafietcomponenten, behoud van reactiestoichiometrie, remming van de migratie van onzuiverheden naar epitaxie- en kristalgroeitoepassingen, wat resulteert in een hogere opbrengst en kwaliteit.

Onze tantaalcarbide (TaC) coatings beschermen kritische oven- en reactorcomponenten bij hoge temperaturen (tot 2200°C) tegen hete ammoniak, waterstof, siliciumdampen en gesmolten metalen. VeTek Semiconductor heeft een breed scala aan grafietverwerkings- en meetmogelijkheden om aan uw aangepaste vereisten te voldoen, zodat we een betalende coating of full-service kunnen aanbieden, waarbij ons team van deskundige ingenieurs klaar staat om de juiste oplossing voor u en uw specifieke toepassing te ontwerpen .

Samengestelde halfgeleiderkristallen

VeTek Semiconductor kan voor diverse componenten en dragers speciale TaC-coatings leveren. Via het toonaangevende coatingproces van VeTek Semiconductor kan de TaC-coating een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid verkrijgen, waardoor de productkwaliteit van kristal TaC/GaN)- en EPl-lagen wordt verbeterd en de levensduur van kritische reactorcomponenten wordt verlengd.

Thermische isolatoren

SiC-, GaN- en AlN-kristalgroeicomponenten, waaronder smeltkroezen, zaadhouders, deflectors en filters. Industriële assemblages inclusief resistieve verwarmingselementen, mondstukken, afschermingsringen en soldeerarmaturen, GaN- en SiC epitaxiale CVD-reactorcomponenten inclusief waferdragers, satellietschotels, douchekoppen, doppen en sokkels, MOCVD-componenten.

Doel:

LED (Light Emitting Diode) Waferdrager

ALD-ontvanger (halfgeleider).

EPI-receptor (SiC-epitaxieproces)

Satelliet susceptor met TaC-coating TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating onderdelen Halfmoon-onderdelen met TaC-coating

Vergelijking van SiC-coating en TaC-coating:

	SiC	TaC
Belangrijkste kenmerken	Ultrahoge zuiverheid, uitstekende plasmaweerstand	Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (procesconformiteit bij hoge temperaturen)
Puurheid	>99,9999%	>99,9999%
Dichtheid (g/cm3)	3.21	15
Hardheid (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Weerstand [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Thermische geleidbaarheid (W/m-K)	200-360	22
Coëfficiënt van thermische uitzetting (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Sollicitatie	Halfgeleiderapparatuur Keramische mal (focusring, douchekop, dummywafel)	SiC Eenkristalgroei, Epi, UV LED-apparatuuronderdelen

View as

Siliciumcarbide epitaxiewafeldrager

VeTek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van op maat gemaakte siliciumcarbide-epitaxywaferdragers in China. We zijn al meer dan 20 jaar gespecialiseerd in geavanceerd materiaal. We bieden een siliciumcarbide-epitaxywaferdrager voor het dragen van SiC-substraat en het kweken van SiC-epitaxylaag in de SiC-epitaxiereactor. Deze siliciumcarbide-epitaxywaferdrager is een belangrijk SiC-gecoat onderdeel van het halvemaandeel, bestand tegen hoge temperaturen, oxidatieweerstand en slijtvastheid. Wij heten u welkom om onze fabriek in China te bezoeken.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide coatingafdekking

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van Tantalum Carbide Coating Cover in China. Wij richten ons op het leveren van zeer zuivere tantaalcarbideproducten die bestand zijn tegen hoge temperaturen. Onze tantaalcarbide gecoate afdekking heeft uitstekende prestaties en betrouwbaarheid en kan materialen effectief beschermen in extreem hoge temperaturen en corrosieve omgevingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-gecoate deflectorring

De TaC-gecoate deflectorring van VeTek Semiconductor is een zeer gespecialiseerd onderdeel dat is ontworpen voor SiC-kristalgroeiprocessen. De TaC-coating biedt uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en chemische inertheid om bestand te zijn tegen de hoge temperaturen en corrosieve omgevingen tijdens het kristalgroeiproces. Dit zorgt voor stabiele prestaties en een lange levensduur van het onderdeel, waardoor de frequentie van vervanging en uitvaltijd wordt verminderd. We streven ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen en kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

Lees verder Stuur onderzoek

TaC-gecoate ring voor SiC epitaxiale reactor

VeTek Semiconductor is een grootschalige TaC-gecoate ring voor fabrikant en innovator van SiC-epitaxiale reactoren in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid, hoge stabiliteit, uitstekende corrosieweerstand en hoge hechtsterkte. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide gecoat Halfmoon onderdeel voor LPE

VeTek Semiconductor is een grootschalig Tantalum Carbide Coated Halfmoon Part voor LPE-fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten zijn bestand tegen temperaturen boven 2000 graden Celsius en verlengen de levensduur van verbruiksartikelen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijf

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate planetaire rotatieschijven in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in keramische coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurbestendigheid. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden in China.

Lees verder Stuur onderzoek

<...2 3 4 5 6 >

Als professionele SiC-epitaxieproces fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame SiC-epitaxieproces uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.