China SiC-epitaxieproces Fabrikant, leverancier, fabriek

De unieke carbidecoatings van VeTek Semiconductor bieden superieure bescherming voor grafietonderdelen in het SiC Epitaxy-proces voor de verwerking van veeleisende halfgeleider- en composiethalfgeleidermaterialen. Het resultaat is een langere levensduur van de grafietcomponenten, behoud van reactiestoichiometrie, remming van de migratie van onzuiverheden naar epitaxie- en kristalgroeitoepassingen, wat resulteert in een hogere opbrengst en kwaliteit.

Onze tantaalcarbide (TaC) coatings beschermen kritische oven- en reactorcomponenten bij hoge temperaturen (tot 2200°C) tegen hete ammoniak, waterstof, siliciumdampen en gesmolten metalen. VeTek Semiconductor heeft een breed scala aan grafietverwerkings- en meetmogelijkheden om aan uw aangepaste vereisten te voldoen, zodat we een betalende coating of full-service kunnen aanbieden, waarbij ons team van deskundige ingenieurs klaar staat om de juiste oplossing voor u en uw specifieke toepassing te ontwerpen .

Samengestelde halfgeleiderkristallen

VeTek Semiconductor kan voor diverse componenten en dragers speciale TaC-coatings leveren. Via het toonaangevende coatingproces van VeTek Semiconductor kan de TaC-coating een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid verkrijgen, waardoor de productkwaliteit van kristal TaC/GaN)- en EPl-lagen wordt verbeterd en de levensduur van kritische reactorcomponenten wordt verlengd.

Thermische isolatoren

SiC-, GaN- en AlN-kristalgroeicomponenten, waaronder smeltkroezen, zaadhouders, deflectors en filters. Industriële assemblages inclusief resistieve verwarmingselementen, mondstukken, afschermingsringen en soldeerarmaturen, GaN- en SiC epitaxiale CVD-reactorcomponenten inclusief waferdragers, satellietschotels, douchekoppen, doppen en sokkels, MOCVD-componenten.

Doel:

LED (Light Emitting Diode) Waferdrager

ALD-ontvanger (halfgeleider).

EPI-receptor (SiC-epitaxieproces)

Satelliet susceptor met TaC-coating TaC Coating Susceptor & Ring TaC Coating onderdelen Halfmoon-onderdelen met TaC-coating

Vergelijking van SiC-coating en TaC-coating:

	SiC	TaC
Belangrijkste kenmerken	Ultrahoge zuiverheid, uitstekende plasmaweerstand	Uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen (procesconformiteit bij hoge temperaturen)
Puurheid	>99,9999%	>99,9999%
Dichtheid (g/cm3)	3.21	15
Hardheid (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Weerstand [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Thermische geleidbaarheid (W/m-K)	200-360	22
Coëfficiënt van thermische uitzetting (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Sollicitatie	Halfgeleiderapparatuur Keramische mal (focusring, douchekop, dummywafel)	SiC Eenkristalgroei, Epi, UV LED-apparatuuronderdelen

View as

TaC-gecoate ring met drie bloemblaadjes

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van TaC-gecoate ringen met drie bloemblaadjes in China. Wij zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC- en SiC-coating. Onze producten hebben een corrosieweerstand en hoge sterkte. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide gecoate boorkop

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate klauwplaten in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC-coating. Onze producten hebben een hoge zuiverheid en hoge temperatuurbestendigheid tot 2000 ℃. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden partners in China.

Lees verder Stuur onderzoek

Tantaalcarbide gecoate deksel

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van tantaalcarbide gecoate afdekkingen in China. Wij zijn al vele jaren gespecialiseerd in TaC- en SiC-coating. Onze producten hebben een corrosieweerstand en hoge sterkte. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verder Stuur onderzoek

Ultrapuur grafiet onderste halvemaan

VeTek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van op maat gemaakte Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon in China, al vele jaren gespecialiseerd in geavanceerde materialen. Onze Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon is speciaal ontworpen voor SiC epitaxiale apparatuur en zorgt voor uitstekende prestaties. Gemaakt van ultrapuur geïmporteerd grafiet, biedt het betrouwbaarheid en duurzaamheid. Bezoek onze fabriek in China om onze hoogwaardige Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon uit de eerste hand te ontdekken.

Lees verder Stuur onderzoek

Bovenste Halfmoon-gedeelte SiC-gecoat

VeTek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van op maat gemaakte Upper Halfmoon Part SiC gecoat in China en is al meer dan 20 jaar gespecialiseerd in geavanceerde materialen. VeTek Semiconductor Upper Halfmoon Part SiC gecoat is speciaal ontworpen voor SiC epitaxiale apparatuur en dient als een cruciaal onderdeel in de reactiekamer. Het is gemaakt van ultrazuiver grafiet van halfgeleiderkwaliteit en garandeert uitstekende prestaties. Wij nodigen u uit om onze fabriek in China te bezoeken.

Lees verder Stuur onderzoek

Siliciumcarbide epitaxiewafeldrager

VeTek Semiconductor is een toonaangevende leverancier van op maat gemaakte siliciumcarbide-epitaxywaferdragers in China. We zijn al meer dan 20 jaar gespecialiseerd in geavanceerd materiaal. We bieden een siliciumcarbide-epitaxywaferdrager voor het dragen van SiC-substraat en het kweken van SiC-epitaxylaag in de SiC-epitaxiereactor. Deze siliciumcarbide-epitaxywaferdrager is een belangrijk SiC-gecoat onderdeel van het halvemaandeel, bestand tegen hoge temperaturen, oxidatieweerstand en slijtvastheid. Wij heten u welkom om onze fabriek in China te bezoeken.

Lees verder Stuur onderzoek

<...3 4 5 6 7 >

Als professionele SiC-epitaxieproces fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame SiC-epitaxieproces uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.