Geleidingsring met TaC-coating

De TaC Coating Guide Ring van VeTek Semiconductor wordt gemaakt door tantaalcarbide coating aan te brengen op grafietonderdelen met behulp van een zeer geavanceerde techniek genaamd chemische dampdepositie (CVD). Deze methode is beproefd en biedt uitzonderlijke coatingeigenschappen. Door gebruik te maken van de TaC Coating Guide Ring kan de levensduur van grafietcomponenten aanzienlijk worden verlengd, kan de beweging van grafietverontreinigingen worden onderdrukt en kan de SiC- en AIN-monokristalkwaliteit betrouwbaar worden gehandhaafd. Welkom bij ons.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

VeTek Semiconductor is een professionele China TaC Coating Guide Ring, TaC Coating Crucible, fabrikant en leverancier van zaadhouders.

TaC-coating Kroes, zaadhouder en TaC-coating Geleidering in SiC- en AIN-eenkristaloven werden gekweekt met behulp van de PVT-methode.

Wanneer de fysieke damptransportmethode (PVT) wordt gebruikt om SiC te bereiden, bevindt het kiemkristal zich in het relatief lage temperatuurgebied en bevindt de SiC-grondstof zich in het relatief hoge temperatuurgebied (boven 2400 ℃). Bij de ontleding van de grondstoffen ontstaat SiXCy (vooral Si, SiC₂, Si₂C, etc.). Het materiaal uit de dampfase wordt getransporteerd van het hoge temperatuurgebied naar het kiemkristal in het lage temperatuurgebied, en kiemt en groeit. Om een enkel kristal te vormen. De thermische veldmaterialen die bij dit proces worden gebruikt, zoals smeltkroes, stroomgeleidingsring en entkristalhouder, moeten bestand zijn tegen hoge temperaturen en mogen SiC-grondstoffen en SiC-eenkristallen niet vervuilen. Op dezelfde manier moeten de verwarmingselementen bij de groei van enkelvoudige AlN-kristallen bestand zijn tegen Al-damp en N₂-corrosie en een hoge eutectische temperatuur (en AlN) hebben om de kristalvoorbereidingsperiode te verkorten.

Er werd gevonden dat het SiC en AlN bereid door met TaC gecoate thermische veldmaterialen van grafiet schoner waren, bijna geen koolstof (zuurstof, stikstof) en andere onzuiverheden, minder randdefecten, een kleinere soortelijke weerstand in elk gebied, en dat de microporiëndichtheid en de etsputdichtheid waren aanzienlijk verminderd (na KOH-etsen) en de kristalkwaliteit was aanzienlijk verbeterd. Bovendien is het gewichtsverlies van de TaC-kroes bijna nul, is het uiterlijk niet-destructief, kan het worden gerecycled (levensduur tot 200 uur) en kan het de duurzaamheid en efficiëntie van een dergelijke bereiding met één kristal verbeteren.

Productparameter van de TaC Coating Geleidering:

Fysische eigenschappen van TaC-coating
Dikte	14,3 (g/cm³)
Specifieke emissiviteit	0.3
Thermische expansiecoëfficiënt	6.3 10-6/K
Hardheid (HK)	2000 Hongkong
Weerstand	1×10-5 Ohm*cm
Thermische stabiliteit	<2500℃
Grafietgrootte verandert	-10~-20um
Bekledingsdikte	≥20um typische waarde (35um±10um)