China Siliciumcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid	3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Siliciumcarbide gecoate Epi-susceptor Waferdrager met SiC-coating SiC-gecoate satellietafdekking voor MOCVD CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC-coating Verwarmingselement Aixtron Satellietwaferdrager SiC Coating Epi-ontvanger SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

View as

Douchekop van massief SiC-gas

Vaste SiC-gasdouchekop speelt een belangrijke rol bij het uniform maken van het gas in het CVD-proces, waardoor een uniforme verwarming van het substraat wordt gegarandeerd. VeTek Semiconductor is al vele jaren nauw betrokken op het gebied van massieve SiC-apparaten en kan klanten op maat gemaakte Solid SiC-gasdouchekoppen bieden. Wat uw wensen ook zijn, wij kijken uit naar uw aanvraag.

Lees verder Stuur onderzoek

Chemisch dampafzettingsproces Vaste SiC-randring

VeTek Semiconductor heeft zich altijd toegewijd aan onderzoek, ontwikkeling en productie van geavanceerde halfgeleidermaterialen. Tegenwoordig heeft VeTek Semiconductor grote vooruitgang geboekt op het gebied van massieve SiC-randringproducten en is het in staat klanten te voorzien van sterk op maat gemaakte massieve SiC-randringen. Stevige SiC-randringen zorgen voor een betere etsuniformiteit en nauwkeurige waferpositionering bij gebruik met een elektrostatische spantang, waardoor consistente en betrouwbare etsresultaten worden gegarandeerd. Ik kijk uit naar uw aanvraag en word elkaars langetermijnpartner.

Lees verder Stuur onderzoek

Massieve SiC-ets focusring

Solid SiC Etching Focusseringsring is een van de kerncomponenten van het waferetsproces, dat een rol speelt bij het fixeren van wafers, het focusseren van plasma en het verbeteren van de uniformiteit van waferetsen. Als toonaangevende fabrikant van SiC-focusringen in China beschikt VeTek Semiconductor over geavanceerde technologie en een volwassen proces, en produceert het Solid SiC-ets-focusring die volledig voldoet aan de behoeften van eindklanten volgens de eisen van de klant. We kijken uit naar uw aanvraag en worden elkaars langetermijnpartners.

Lees verder Stuur onderzoek

<...14 15 16 17 18 >

Als professionele Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.