Thuis > Producten > Siliciumcarbide coating

China Siliciumcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.


Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.


Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.


Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.


Reactoronderdelen die we kunnen doen:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor siliciumcarbidecoatingparameter

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom Typische waarde
Kristalstructuur FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
SiC-coating Dichtheid 3,21 g/cm³
SiC-coatingHardheid 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte 2~10μm
Chemische zuiverheid 99,99995%
Warmtecapaciteit 640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur 2700℃
Buigsterkte 415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid 300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC-FILMKRISTALSTRUCTUUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Op silicium gebaseerde GaN epitaxiale susceptor

Op silicium gebaseerde GaN epitaxiale susceptor

Op silicium gebaseerde GaN Epitaxiale Susceptor is het kernonderdeel dat nodig is voor de GaN Epitaxiale productie. VeTek Semiconductor zet zich als professionele fabrikant en leverancier in voor het leveren van hoogwaardige op silicium gebaseerde GaN epitaxiale susceptor. Onze op silicium gebaseerde GaN epitaxiale susceptor is ontworpen voor op silicium gebaseerde GaN epitaxiale reactorsystemen en beschikt over een hoge zuiverheid, uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en corrosieweerstand. VeTek Semiconductor streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen, welkom om te informeren.

Lees verderStuur onderzoek
8 inch Halfmoon-onderdeel voor LPE-reactor

8 inch Halfmoon-onderdeel voor LPE-reactor

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant van halfgeleiderapparatuur in China, die zich richt op de R&D en productie van 8 Inch Halfmoon Part voor LPE Reactor. We hebben door de jaren heen een rijke ervaring opgebouwd, vooral op het gebied van SiC-coatingmaterialen, en streven ernaar efficiënte oplossingen te bieden die op maat zijn gemaakt voor epitaxiale LPE-reactoren. Ons 8 inch Halfmoon-onderdeel voor LPE Reactor heeft uitstekende prestaties en compatibiliteit en is een onmisbaar sleutelcomponent bij epitaxiale productie. Stem in met uw onderzoek om meer over onze producten te leren.

Lees verderStuur onderzoek
SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6 '' wafers is een van de kerncomponenten die worden gebruikt bij de epitaxiale waferverwerking van 6 '' wafers. VeTek Semiconductor is momenteel een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6''-wafels in China. De SiC-gecoate pannenkoeksusceptor die hij levert, heeft uitstekende eigenschappen zoals hoge corrosieweerstand, goede thermische geleidbaarheid en goede uniformiteit. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Lees verderStuur onderzoek
SiC-gecoate steun voor LPE PE2061S

SiC-gecoate steun voor LPE PE2061S

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC-gecoate ondersteuning voor LPE PE2061S in China. SiC gecoate ondersteuning voor LPE PE2061S is geschikt voor LPE silicium epitaxiale reactor. Als onderkant van de loopbasis is de SiC-gecoate ondersteuning voor LPE PE2061S bestand tegen hoge temperaturen van 1600 graden Celsius, waardoor een ultralange levensduur van het product wordt bereikt en de kosten voor de klant worden verlaagd. Ik kijk uit naar uw aanvraag en verdere communicatie.

Lees verderStuur onderzoek
SiC gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S

SiC gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S

VeTek Semiconductor is al vele jaren nauw betrokken bij SiC-coatingproducten en is uitgegroeid tot een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC-gecoate bovenplaten voor LPE PE2061S in China. De door ons geleverde SiC-gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S is ontworpen voor LPE-silicium epitaxiale reactoren en bevindt zich aan de bovenkant, samen met de cilinderbasis. Deze SiC-gecoate bovenplaat voor LPE PE2061S heeft uitstekende eigenschappen zoals hoge zuiverheid, uitstekende thermische stabiliteit en uniformiteit, wat helpt bij het groeien van hoogwaardige epitaxiale lagen. Welk product u ook nodig heeft, wij verheugen ons op uw aanvraag.

Lees verderStuur onderzoek
Susceptor met SiC-coating voor LPE PE2061S

Susceptor met SiC-coating voor LPE PE2061S

Als een van de toonaangevende productiefabrieken voor wafer susceptor in China heeft VeTek Semiconductor voortdurende vooruitgang geboekt op het gebied van wafer susceptorproducten en is het de eerste keuze geworden voor veel epitaxiale waferfabrikanten. De SiC-gecoate vatsusceptor voor LPE PE2061S geleverd door VeTek Semiconductor is ontworpen voor LPE PE2061S 4'' wafers. De susceptor heeft een duurzame siliciumcarbidecoating die de prestaties en duurzaamheid tijdens het LPE-proces (liquid phase epitaxie) verbetert. Stem in met uw onderzoek, wij kijken ernaar uit om uw partner op lange termijn te worden.

Lees verderStuur onderzoek
Als professionele Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept