China Siliciumcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbide coatingparameter:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte	3,21 g/cm³
Hardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5 × 10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

SiC-gecoate ICP-etsdrager

De SiC-gecoate ICP-etsdrager van VeTek Semiconductor is ontworpen voor de meest veeleisende epitaxieapparatuurtoepassingen. Onze SiC-gecoate ICP-etsdrager is gemaakt van hoogwaardig ultrazuiver grafietmateriaal en heeft een zeer vlak oppervlak en uitstekende corrosieweerstand om de zware omstandigheden tijdens het hanteren te weerstaan. De hoge thermische geleidbaarheid van de met SiC gecoate drager zorgt voor een gelijkmatige warmteverdeling voor uitstekende etsresultaten. VeTek Semiconductor kijkt ernaar uit om met u een langdurige samenwerking op te bouwen.

Lees verder Stuur onderzoek

PSS-etsdraagplaat voor halfgeleiders

De PSS Etching Carrier Plate for Semiconductor van VeTek Semiconductor is een hoogwaardige, ultrazuivere grafietdrager ontworpen voor waferhanteringsprocessen. Onze dragers presteren uitstekend en kunnen goed presteren onder zware omstandigheden, hoge temperaturen en zware chemische reinigingsomstandigheden. Onze producten worden veel gebruikt op veel Europese en Amerikaanse markten en we kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verder Stuur onderzoek

Snelle thermische gloeikroes

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van Rapid Thermal Annealing Susceptor in China. Wij zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-coatingmateriaal. Wij bieden Rapid Thermal Annealing Susceptor aan met hoge kwaliteit, hoge temperatuurbestendigheid, superdun. Wij heten u welkom om onze fabriek in China.

Lees verder Stuur onderzoek

Op silicium gebaseerde GaN epitaxiale susceptor

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier, die zich toelegt op het leveren van hoogwaardige op silicium gebaseerde GaN epitaxiale susceptor. De susceptor-halfgeleider wordt gebruikt in het VEECO K465i GaN MOCVD-systeem, hoge zuiverheid, hoge temperatuurbestendigheid, corrosieweerstand, welkom om te informeren en met ons samen te werken!

Lees verder Stuur onderzoek

8 inch Halfmoon-onderdeel voor LPE-reactor

VeTek Semiconductor is een toonaangevend 8 inch Halfmoon-onderdeel voor LPE-reactorfabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-coatingmateriaal. We bieden een 8 inch Halfmoon-onderdeel voor LPE-reactor, speciaal ontworpen voor LPE SiC-epitaxyreactor. Dit halvemaandeel is een veelzijdige en efficiënte oplossing voor de productie van halfgeleiders met zijn optimale omvang, compatibiliteit en hoge productiviteit. Wij heten u welkom in onze fabriek in China.

Lees verder Stuur onderzoek

SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

VeTek Semiconductor is een toonaangevende SiC-gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafers fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-coatingmateriaal. We bieden een SiC-gecoate pannenkoek susceptor die speciaal is ontworpen voor LPE PE3061S 6'' wafers . Deze epitaxiale susceptor heeft een hoge corrosieweerstand, goede warmtegeleidingsprestaties en goede uniformiteit. Wij heten u welkom om onze fabriek in China te bezoeken.

Lees verder Stuur onderzoek

<...11 12 13 14 15 >

Als professionele Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.