SiC-gecoate ICP-etsdrager

Met jarenlange ervaring in de productie van SiC-gecoate ICP-etsdragers kan VeTek Semiconductor een breed scala aanSiC-gecoatofTaC-gecoatreserveonderdelen voor de halfgeleiderindustrie. Naast de onderstaande productlijst kunt u ook uw eigen unieke SiC-gecoate of TaC-gecoate onderdelen aanpassen aan uw specifieke behoeften. Welkom om ons te informeren.

De SiC Coated ICP Etching Carrier van VeTek Semiconductor, ook bekend als ICP-carriers, PSS-carriers, RTP-carriers of RTP-carriers, zijn belangrijke componenten die worden gebruikt in een verscheidenheid aan toepassingen in de halfgeleiderindustrie. Met siliciumcarbide gecoat grafiet is het primaire materiaal dat wordt gebruikt om deze stroomdragers te vervaardigen. Het heeft een hoge thermische geleidbaarheid, meer dan 10 keer de thermische geleidbaarheid van saffiersubstraat. Deze eigenschap, gecombineerd met de hoge elektrische veldsterkte van de rol en de maximale stroomdichtheid, heeft geleid tot de verkenning van siliciumcarbide als een potentiële vervanging voor silicium in een verscheidenheid aan toepassingen, met name in halfgeleidercomponenten met hoog vermogen. SiC-stroomdragerplaten hebben een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor ze ideaal zijn voorLED-productieprocessen. 

Ze zorgen voor een efficiënte warmteafvoer en bieden een uitstekende elektrische geleidbaarheid, wat bijdraagt ​​aan de productie van krachtige leds. Bovendien beschikken deze draagplaten over uitstekendeplasma weerstanden een lange levensduur, waardoor betrouwbare prestaties en levensduur worden gegarandeerd in de veeleisende productieomgeving van halfgeleiders.