SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafels

VeTek Semiconductor is een toonaangevende SiC-gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6'' wafers fabrikant en innovator in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-coatingmateriaal. We bieden een SiC-gecoate pannenkoek susceptor die speciaal is ontworpen voor LPE PE3061S 6'' wafers . Deze epitaxiale susceptor heeft een hoge corrosieweerstand, goede warmtegeleidingsprestaties en goede uniformiteit. Wij heten u welkom om onze fabriek in China te bezoeken.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Als professionele fabrikant wil VeTek Semiconductor u graag een hoogwaardige SiC-gecoate pannenkoeksusceptor voor LPE PE3061S 6''-wafels leveren.

De VeTeK Semiconductor SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6" wafers is een kritische apparatuur die wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen.

SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6" wafels Producteigenschappen:

Stabiliteit bij hoge temperaturen: SiC vertoont een uitstekende stabiliteit bij hoge temperaturen, waardoor de structuur en prestaties in omgevingen met hoge temperaturen behouden blijven.

Uitstekende thermische geleidbaarheid: SiC heeft een uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, waardoor een snelle en uniforme warmteoverdracht mogelijk is voor snelle en gelijkmatige verwarming.

Corrosiebestendigheid: SiC bezit een uitstekende chemische stabiliteit en is bestand tegen corrosie en oxidatie in verschillende verwarmingsomgevingen.

Uniforme warmteverdeling: De met SiC gecoate waferdrager zorgt voor een uniforme warmteverdeling, waardoor tijdens het verwarmen een gelijkmatige temperatuur over het oppervlak van de wafer wordt gegarandeerd.

Geschikt voor de productie van halfgeleiders: Si-epitaxywafeldrager wordt veel gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name voor Si-epitaxiegroei en andere verwarmingsprocessen bij hoge temperaturen.

Productvoordelen:

Verbeterde productie-efficiëntie: de met SiC gecoate pannenkoek susceptor maakt een snelle en uniforme verwarming mogelijk, waardoor de verwarmingstijd wordt verkort en de productie-efficiëntie wordt verbeterd.

Gegarandeerde productkwaliteit: Een uniforme warmteverdeling zorgt voor consistentie tijdens de wafelverwerking, wat leidt tot een verbeterde productkwaliteit.

Verlengde levensduur van de apparatuur: SiC-materiaal biedt uitstekende hittebestendigheid en chemische stabiliteit, wat bijdraagt aan een langere levensduur van de pannenkoek susceptor.

Maatwerkoplossingen: SiC-gecoate susceptor, Si-epitaxywafeldrager kan worden aangepast aan verschillende maten en specificaties op basis van de eisen van de klant.

SEM data and structure of CVD SIC films

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte	3,21 g/cm³
Hardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5 × 10-6K-1

VeTek halfgeleiderproductiewinkel

VeTek Semiconductor Production Shop

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hottags: SiC gecoate pannenkoek susceptor voor LPE PE3061S 6 '' wafels, China, fabrikant, leverancier, fabriek, aangepast, kopen, geavanceerd, duurzaam, gemaakt in China

Productlabel

Gerelateerde categorie