Aixtron G5 MOCVD-susceptors

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van Aixtron G5 MOCVD-susceptors in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-coatingmateriaal. We bieden Aixtron G5 MOCVD-susceptors aan die speciaal zijn ontworpen voor de Aixtron G5 MOCVD-reactor. Deze Aixtron G5 MOCVD Susceptors-kit is een veelzijdige en efficiënte oplossing voor de productie van halfgeleiders met zijn optimale formaat, compatibiliteit en hoge productiviteit. Welkom bij ons.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Als professionele fabrikant wil VeTek Semiconductor u graag Aixtron G5 MOCVD-susceptoren leveren, zoals SiC-gecoate grafietonderdelen, TaC-gecoate grafietonderdelen, massief SiC / CVD SiC, kwartsonderdelen. Welkom bij ons.

Aixtron G5 is een depositiesysteem voor samengestelde halfgeleiders. AIX G5 MOCVD maakt gebruik van een door de productieklant bewezen AIXTRON planetair reactorplatform met een volledig geautomatiseerd cartridge (C2C) waferoverdrachtssysteem. Realiseerde de grootste enkele holtegrootte (8 x 6 inch) en de grootste productiecapaciteit in de sector. Het biedt flexibele 6- en 4-inch configuraties die zijn ontworpen om de productiekosten te minimaliseren met behoud van een uitstekende productkwaliteit. Het planetaire CVD-systeem met warme muren wordt gekenmerkt door de groei van meerdere platen in een enkele oven en de outputefficiëntie is hoog. VeTek Semiconductor biedt een complete set accessoires voor het Aixtron G5 MOCVD-systeem. Aixtron G5 MOCVD Susceptors bestaat uit deze accessoires:

Stuwkrachtstuk, anti-roteren	Distributiering	Plafond	Houder, plafond, geïsoleerd	Afdekplaat, buitenste
Afdekplaat, binnen	Afdekring	Schijf	Pulldown-afdekkingsschijf	Pin
Pin-ring	Planetaire schijf	Collectorinlaatringopening	Uitlaatcollector boven	Luik
Ondersteunende ring	Steunbuis

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristal structuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte	3,21 g/cm³
Hardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmte capaciteit	640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Warmtegeleiding	300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5 × 10-6K-1