SiC-gecoat voetstuk

Met jarenlange ervaring in de productie van SiC-gecoate grafietonderdelen, kan Vetek Semiconductor een breed scala aan SiC-gecoate sokkels leveren. Hoogwaardig SiC-gecoat voetstuk kan aan vele toepassingen voldoen. Als u dat nodig heeft, kunt u onze online tijdige service krijgen over het SiC-gecoate voetstuk. Naast de onderstaande productlijst kunt u ook uw eigen unieke SiC-gecoate sokkel aanpassen aan uw specifieke behoeften.

Vergeleken met andere methoden, zoals MBE, LPE, PLD, heeft de MOCVD-methode de voordelen van een hogere groei-efficiëntie, betere regelnauwkeurigheid en relatief lage kosten, en wordt deze veel gebruikt in de huidige industrie. Met de toenemende vraag naar epitaxiale halfgeleidermaterialen, vooral voor een breed scala aan opto-elektronische epitaxiale materialen zoals LD en LED, is het erg belangrijk om nieuwe apparatuurontwerpen toe te passen om de productiecapaciteit verder te vergroten en de kosten te verlagen.

Onder hen is de grafietbak gevuld met substraat die wordt gebruikt bij epitaxiale groei van MOCVD een zeer belangrijk onderdeel van MOCVD-apparatuur. De grafietbak die wordt gebruikt bij de epitaxiale groei van nitriden uit groep III, om de corrosie van ammoniak, waterstof en andere gassen op het grafiet te voorkomen, zal in het algemeen op het oppervlak van de grafietbak worden geplateerd met een dunne uniforme beschermende laag van siliciumcarbide. Bij de epitaxiale groei van het materiaal zijn de uniformiteit, consistentie en thermische geleidbaarheid van de beschermende laag van siliciumcarbide zeer hoog, en er zijn bepaalde eisen aan de levensduur ervan. Het SiC-gecoate voetstuk van Vetek Semiconductor verlaagt de productiekosten van grafietpallets en verbetert hun levensduur, wat een grote rol speelt bij het verlagen van de kosten van MOCVD-apparatuur.

Het met SiC gecoate voetstuk is ook een belangrijk onderdeel van de MOCVD-reactiekamer, wat de productie-efficiëntie effectief verbetert.

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating:

Productiewinkels:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: