SiC Coating Epi-ontvanger

Vetek Semiconductor is een professionele fabrikant in China voor SiC Coating Epi Susceptor.

De SiC Coating Epi Susceptor van VeTek Semiconductor is gemaakt van grafiet en siliciumcarbide. Dit SiC-coatingproduct maakt gebruik van geïmporteerd grafiet, dat stabielere prestaties en een langere levensduur heeft, en wordt zeer geprezen door onze Europese en Amerikaanse klanten. Tegelijkertijd is de concentratie van SiC Coating Epi-susceptor lager dan 5 ppm en is de uniformiteit zeer goed. Na voortdurende technologische upgrades gebruikt VeTek Semiconductor een nieuw proces om een ​​goede match te vormen tussen de thermische uitzettingscoëfficiënt van SiC Coating en grafietmaterialen.

SiC Coating Epi Susceptor wordt speciaal gebruikt in omgevingen met hoge temperaturen en corrosieve halfgeleiderapparatuur. SiC Coating Epi susceptor wordt vaak gebruikt in apparatuur zoals AIXTRON, vooral in het diepe ultraviolette epitaxie (DUV Epitaxie) proces, en speelt een sleutelrol.

In het diepe ultraviolette epitaxieproces (DUV Epitaxy), gecombineerd met de uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen en corrosieweerstand van SiC Coating Epi Susceptor, wordt SiC Coating Epi Susceptor meestal rond de reactiekamer in de AIXTRON-apparatuur geïnstalleerd als drager tijdens het epitaxieproces van het beschadigen of vervuilen van de apparatuur.

Deze Epi-susceptor met SiC-coating is ontworpen voor diepe ultraviolette epitaxie. We controleren de coating van siliciumcarbide strikt en gebruiken bufferlaagtechnologie om problemen veroorzaakt door verschillen in thermische uitzettingscoëfficiënten tussen grafiet- en siliciumcarbidecoatings te verminderen, waardoor de levensduur van het product wordt verlengd. Momenteel heeft ons product talloze onderscheidingen ontvangen en wordt het erkend als een van de beste op de binnenlandse markt.

Als marktleider op het gebied van SiC-coatingproducten ondersteunt VeTek Semiconductor productaanpassingsdiensten en bevredigende productprijzen, en kijkt uit naar uw verdere overleg.

SEM-GEGEVENS VAN CVD SIC-FILM:

VeTek Semiconductor SiC Coating Skirt-productenwinkels:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: