Douchekop van massief SiC-gas

Douchekop van massief SiC-gas

VeTek Semiconductor is een geïntegreerd bedrijf dat zich toelegt op onderzoek, productie en verkoop. Met meer dan 20 jaar ervaring is ons team gespecialiseerd in SiC, TaC-coatings en CVD Solid SiC. Welkom bij ons kopen van massieve SiC-gasdouchekop.

VeTek Semiconductor Solid SiC-gasdouchekoppen worden vaak gebruikt om precursorgassen gelijkmatig op het substraatoppervlak te verdelen tijdens halfgeleider-CVD-processen. Het gebruik van CVD-SiC materiaal voor douchekoppen biedt verschillende voordelen. De hoge thermische geleidbaarheid helpt bij het afvoeren van de warmte die wordt gegenereerd tijdens het CVD-proces, waardoor een uniforme temperatuurverdeling op het substraat wordt gegarandeerd. Bovendien zorgt de chemische stabiliteit van de CVD sic-douchekop ervoor dat hij bestand is tegen corrosieve gassen en zware omstandigheden die vaak voorkomen bij CVD-processen. 

Het ontwerp van CVD SiC-douchekoppen kan worden afgestemd op specifieke CVD-systemen en procesvereisten. Ze bestaan ​​echter doorgaans uit een plaat- of schijfvormig onderdeel met een reeks nauwkeurig geboorde gaten of sleuven. Het gatenpatroon en de geometrie zijn zorgvuldig ontworpen om een ​​uniforme gasverdeling en stroomsnelheid over het substraatoppervlak te garanderen.

Fysische eigenschappen van vast SiC