China Siliciumcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbide coatingparameter:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte	3,21 g/cm³
Hardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5 × 10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Waferdrager met SiC-coating

Als professionele fabrikant en leverancier van SiC-coatingwafeldragers in China, worden de SiC-coatingwaferdragers van Vetek Semiconductor voornamelijk gebruikt om de groei-uniformiteit van de epitaxiale laag te verbeteren, waardoor hun stabiliteit en integriteit in hoge temperaturen en corrosieve omgevingen wordt gewaarborgd. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Lees verder Stuur onderzoek

ALD-receptor

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant van ALD Susceptor, CVD SiC-coating, CVD TAC COATING grafietbasis in China. Vetek Semiconductor heeft samen met ALD-systeemfabrikanten SiC-gecoate ALD-planetaire bases ontwikkeld en geproduceerd om aan de hoge eisen van het ALD-proces te voldoen en de luchtstroom gelijkmatig over het substraat te verdelen. Wij kijken uit naar een verdere samenwerking met u.

Lees verder Stuur onderzoek

CVD SiC-gecoat plafond

Als professionele fabrikant en leverancier van CVD SiC-gecoate plafonds in China, heeft het CVD SiC-gecoate plafond van VeTek Semiconductor uitstekende eigenschappen zoals hoge temperatuurbestendigheid, corrosieweerstand, hoge hardheid en lage thermische uitzettingscoëfficiënt, waardoor het een ideale materiaalkeuze is bij de productie van halfgeleiders. Wij kijken uit naar een verdere samenwerking met u.

Lees verder Stuur onderzoek

MOCVD LED Epi Susceptor

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant van MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC Coated Graphite Susceptor in China. De MOCVD LED Epi Susceptor van VeTek Semiconductor is ontworpen voor veeleisende epitaxiale apparatuurtoepassingen. De hoge thermische geleidbaarheid, chemische stabiliteit en duurzaamheid zijn sleutelfactoren om een stabiel epitaxiaal groeiproces en hoogwaardige productie van halfgeleiderfilms te garanderen. Wij kijken uit naar een verdere samenwerking met u.

Lees verder Stuur onderzoek

SiC-coating ALD-kroes

Als professionele fabrikant en leverancier van ALD-susceptors met SiC-coating in China, is de ALD-susceptor met SiC-coating van VeTek Semiconductor een ondersteuningscomponent die specifiek wordt gebruikt in het atomic layer deposition (ALD)-proces. Het speelt een sleutelrol in de ALD-apparatuur en zorgt voor de uniformiteit en precisie van het depositieproces. Wij geloven dat onze ALD Planetary Susceptor-producten u hoogwaardige productoplossingen kunnen bieden.

Lees verder Stuur onderzoek

SiC Coating Epi-ontvanger

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant, innovator en leider van SiC Coating Epi Susceptor-producten in China. We concentreren ons al vele jaren op verschillende SiC-coatingproducten, zoals SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Wafer Carrier, SiC Coating Susceptor, SiC-coating ALD-susceptor, enz. VeTek Semiconductor streeft ernaar geavanceerde technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie. industrie. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

<...5 6 7 8 9...15 >

Als professionele Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.