China Siliciumcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbide coatingparameter:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte	3,21 g/cm³
Hardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5 × 10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Siliciumcarbide waferhouder

Als toonaangevende fabrikant en leverancier van siliciumcarbide wafer chuck-producten in China speelt de siliciumcarbide wafer chuck van VeTek Semiconductor een onvervangbare rol in het epitaxiale groeiproces met zijn uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, chemische corrosieweerstand en thermische schokbestendigheid. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

Siliciumcarbide douchekop

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van siliciumcarbide douchekopproducten in China. SiC-douchekop heeft een uitstekende tolerantie voor hoge temperaturen, chemische stabiliteit, thermische geleidbaarheid en goede gasdistributieprestaties, waardoor een uniforme gasdistributie kan worden bereikt en de filmkwaliteit kan worden verbeterd. Daarom wordt het meestal gebruikt in processen bij hoge temperaturen, zoals chemische dampafzetting (CVD) of fysische dampafzetting (PVD). Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

Afdichtring van siliciumcarbide

Als professionele fabrikant en fabriek van siliciumcarbide afdichtringen in China, wordt VeTek Semiconductor siliciumcarbide afdichtringen veel gebruikt in halfgeleiderverwerkingsapparatuur vanwege de uitstekende hittebestendigheid, corrosieweerstand, mechanische sterkte en thermische geleidbaarheid. Het is vooral geschikt voor processen waarbij hoge temperaturen en reactieve gassen betrokken zijn, zoals CVD-, PVD- en plasma-etsen, en is een belangrijke materiaalkeuze in het halfgeleiderproductieproces. Uw verdere vragen zijn welkom.

Lees verder Stuur onderzoek

SiC-gecoate wafelhouder

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leider van SiC-gecoate waferhouderproducten in China. Met SiC gecoate waferhouder is een waferhouder voor het epitaxieproces bij de verwerking van halfgeleiders. Het is een onvervangbaar apparaat dat de wafer stabiliseert en zorgt voor de uniforme groei van de epitaxiale laag. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

Epi-wafelhouder

VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en fabriek van Epi Wafer Holder in China. Epi Wafer Holder is een waferhouder voor het epitaxieproces bij de verwerking van halfgeleiders. Het is een belangrijk hulpmiddel om de wafer te stabiliseren en een uniforme groei van de epitaxiale laag te garanderen. Het wordt veel gebruikt in epitaxieapparatuur zoals MOCVD en LPCVD. Het is een onvervangbaar apparaat in het epitaxieproces. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

Aixtron Satellietwaferdrager

Als professionele productfabrikant en innovator van Aixtron Satellite Wafer Carrier in China, is de Aixtron Satellite Wafer Carrier van VeTek Semiconductor een waferdrager die wordt gebruikt in AIXTRON-apparatuur, voornamelijk gebruikt in MOCVD-processen bij de verwerking van halfgeleiders, en is met name geschikt voor hoge temperaturen en hoge precisie halfgeleiderverwerkingsprocessen. De drager kan stabiele wafelondersteuning en uniforme filmafzetting bieden tijdens MOCVD epitaxiale groei, wat essentieel is voor het laagafzettingsproces. Stem in met uw verder overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

<...3 4 5 6 7...15 >

Als professionele Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.