VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.
Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.
Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.
Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.
Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating | |
Eigendom | Typische waarde |
Kristalstructuur | FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd |
Dikte | 3,21 g/cm³ |
Hardheid | 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting) |
Korrelgrootte | 2~10μm |
Chemische zuiverheid | 99,99995% |
Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimatie temperatuur | 2700℃ |
Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
Thermische geleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
Thermische uitzetting (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
Grafietring met hoge zuiverheid is geschikt voor GaN epitaxiale groeiprocessen. Door hun uitstekende stabiliteit en superieure prestaties zijn ze op grote schaal gebruikt. VeTek Semiconductor produceert en produceert toonaangevende grafietringen met hoge zuiverheid om de GaN-epitaxie-industrie te helpen vooruitgang te blijven boeken. VeTekSemi kijkt ernaar uit om uw partner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekAls toonaangevende fabrikant en innovator van CVD SiC Pancake Susceptor-producten in China. VeTek Semiconductor CVD SiC Pancake Susceptor, als een schijfvormig onderdeel ontworpen voor halfgeleiderapparatuur, is een sleutelelement ter ondersteuning van dunne halfgeleiderwafels tijdens epitaxiale afzetting bij hoge temperaturen. VeTek Semiconductor streeft ernaar hoogwaardige SiC Pancake Susceptor-producten te leveren en uw langetermijnpartner in China te worden tegen concurrerende prijzen.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC-gecoate grafietsusceptors voor MOCVD in China, gespecialiseerd in SiC-coatingtoepassingen en epitaxiale halfgeleiderproducten voor de halfgeleiderindustrie. Onze MOCVD SiC-gecoate grafiet susceptors bieden concurrerende kwaliteit en prijzen en bedienen markten in heel Europa en Amerika. Wij streven ernaar om uw betrouwbare partner voor de lange termijn te worden bij het bevorderen van de productie van halfgeleiders.
Lees verderStuur onderzoekDe CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor van VeTek Semiconductor is een nauwkeurig ontworpen hulpmiddel dat is ontworpen voor het hanteren en verwerken van halfgeleiderwafels. Deze SiC Coating Epitaxy Susceptor speelt een cruciale rol bij het bevorderen van de groei van dunne films, epilagen en andere coatings, en kan de temperatuur en materiaaleigenschappen nauwkeurig regelen. Stem in met uw verdere onderzoeken.
Lees verderStuur onderzoekDe CVD SiC-coatingring is een van de belangrijke onderdelen van de halvemaanonderdelen. Samen met andere onderdelen vormt het de epitaxiale groeireactiekamer van SiC. VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier van CVD SiC-coatingringen. Volgens de ontwerpvereisten van de klant kunnen we de bijbehorende CVD SiC-coatingring leveren tegen de meest concurrerende prijs. VeTek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van CVD SiC Coated Barrel Susceptor in China. Onze CVD SiC Coated Barrel Susceptor speelt een sleutelrol bij het bevorderen van de epitaxiale groei van halfgeleidermaterialen op wafers met zijn uitstekende producteigenschappen. Welkom bij uw verdere consultatie.
Lees verderStuur onderzoek