Thuis > Producten > Siliciumcarbide coating

China Siliciumcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.


Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek Semiconductor siliciumcarbide coatingparameter:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom Typische waarde
Kristalstructuur FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte 3,21 g/cm³
Hardheid 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte 2~10μm
Chemische zuiverheid 99,99995%
Warmtecapaciteit 640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur 2700℃
Buigsterkte 415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid 300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE) 4,5 × 10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
MOCVD SiC-coating susceptor

MOCVD SiC-coating susceptor

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van MOCVD SiC-coating susceptoren in China, die zich al vele jaren richt op de R&D en productie van SiC-coatingproducten. Onze MOCVD SiC-coating susceptors hebben een uitstekende tolerantie voor hoge temperaturen, een goede thermische geleidbaarheid en een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, en spelen een sleutelrol bij het ondersteunen en verwarmen van silicium- of siliciumcarbide (SiC) wafers en uniforme gasafzetting. Welkom om verder te raadplegen.

Lees verderStuur onderzoek
SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

SiC-coating halvemaanvormige grafietonderdelen

Als professionele fabrikant en leverancier van halfgeleiders kan VeTek Semiconductor een verscheidenheid aan grafietcomponenten leveren die nodig zijn voor epitaxiale SiC-groeisystemen. Deze halvemaanvormige grafietonderdelen met SiC-coating zijn ontworpen voor het gasinlaatgedeelte van de epitaxiale reactor en spelen een cruciale rol bij het optimaliseren van het halfgeleiderproductieproces. VeTek Semiconductor streeft er altijd naar om klanten producten van de beste kwaliteit te bieden tegen de meest concurrerende prijzen. VeTek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Lees verderStuur onderzoek
Hot Zone grafietverwarmer

Hot Zone grafietverwarmer

De VeTek Semiconductor Hot Zone grafietverwarmer is ontworpen om de extreme omstandigheden in ovens met hoge temperaturen aan te kunnen en uitstekende prestaties en stabiliteit te behouden bij complexe processen zoals chemische dampafzetting (CVD), epitaxiale groei en uitgloeien bij hoge temperaturen. VeTekSemi richt zich altijd op het produceren en leveren van hoogwaardige Hot Zone grafietverwarmers om de beste kosteneffectiviteit voor klanten te garanderen. Wij nodigen u van harte uit om contact met ons op te nemen.

Lees verderStuur onderzoek
VEECO MOCVD-verwarming

VEECO MOCVD-verwarming

VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van VEECO MOCVD-verwarmingsproducten in China. MOCVD-verwarmer heeft uitstekende chemische zuiverheid, thermische stabiliteit en corrosieweerstand. Het is een onmisbaar product in het metaal-organische chemische dampdepositie (MOCVD)-proces. Welkom bij uw verdere vragen.

Lees verderStuur onderzoek
VEECO MOCVD-ontvanger

VEECO MOCVD-ontvanger

Als toonaangevende fabrikant en leverancier van VEECO MOCVD Susceptor-producten in China vertegenwoordigt de MOCVD Susceptor van VeTek Semiconductor het toppunt van innovatie en technische uitmuntendheid, speciaal aangepast om te voldoen aan de complexe eisen van hedendaagse halfgeleiderproductieprocessen. Stem in met uw verdere onderzoeken.

Lees verderStuur onderzoek
SiC-afdichtingsonderdeel

SiC-afdichtingsonderdeel

Als geavanceerde fabrikant en fabriek van SiC-afdichtingsonderdelen in China. VeTek Semiconducto SiC Sealing Part is een hoogwaardige afdichtingscomponent die veel wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en andere processen met extreem hoge temperaturen en hoge druk. Stem in met uw verder overleg.

Lees verderStuur onderzoek
<...23456...15>
Als professionele Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept