VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.
Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.
Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.
Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.
Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating | |
Eigendom | Typische waarde |
Kristalstructuur | FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd |
Dikte | 3,21 g/cm³ |
Hardheid | 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting) |
Korrelgrootte | 2~10μm |
Chemische zuiverheid | 99,99995% |
Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimatie temperatuur | 2700℃ |
Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
Thermische geleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
Thermische uitzetting (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van MOCVD SiC-coating susceptoren in China, die zich al vele jaren richt op de R&D en productie van SiC-coatingproducten. Onze MOCVD SiC-coating susceptors hebben een uitstekende tolerantie voor hoge temperaturen, een goede thermische geleidbaarheid en een lage thermische uitzettingscoëfficiënt, en spelen een sleutelrol bij het ondersteunen en verwarmen van silicium- of siliciumcarbide (SiC) wafers en uniforme gasafzetting. Welkom om verder te raadplegen.
Lees verderStuur onderzoekAls professionele fabrikant en leverancier van halfgeleiders kan VeTek Semiconductor een verscheidenheid aan grafietcomponenten leveren die nodig zijn voor epitaxiale SiC-groeisystemen. Deze halvemaanvormige grafietonderdelen met SiC-coating zijn ontworpen voor het gasinlaatgedeelte van de epitaxiale reactor en spelen een cruciale rol bij het optimaliseren van het halfgeleiderproductieproces. VeTek Semiconductor streeft er altijd naar om klanten producten van de beste kwaliteit te bieden tegen de meest concurrerende prijzen. VeTek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekDe VeTek Semiconductor Hot Zone grafietverwarmer is ontworpen om de extreme omstandigheden in ovens met hoge temperaturen aan te kunnen en uitstekende prestaties en stabiliteit te behouden bij complexe processen zoals chemische dampafzetting (CVD), epitaxiale groei en uitgloeien bij hoge temperaturen. VeTekSemi richt zich altijd op het produceren en leveren van hoogwaardige Hot Zone grafietverwarmers om de beste kosteneffectiviteit voor klanten te garanderen. Wij nodigen u van harte uit om contact met ons op te nemen.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van VEECO MOCVD-verwarmingsproducten in China. MOCVD-verwarmer heeft uitstekende chemische zuiverheid, thermische stabiliteit en corrosieweerstand. Het is een onmisbaar product in het metaal-organische chemische dampdepositie (MOCVD)-proces. Welkom bij uw verdere vragen.
Lees verderStuur onderzoekAls toonaangevende fabrikant en leverancier van VEECO MOCVD Susceptor-producten in China vertegenwoordigt de MOCVD Susceptor van VeTek Semiconductor het toppunt van innovatie en technische uitmuntendheid, speciaal aangepast om te voldoen aan de complexe eisen van hedendaagse halfgeleiderproductieprocessen. Stem in met uw verdere onderzoeken.
Lees verderStuur onderzoekAls geavanceerde fabrikant en fabriek van SiC-afdichtingsonderdelen in China. VeTek Semiconducto SiC Sealing Part is een hoogwaardige afdichtingscomponent die veel wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en andere processen met extreem hoge temperaturen en hoge druk. Stem in met uw verder overleg.
Lees verderStuur onderzoek