VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.
Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.
Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.
Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.
Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating | |
Eigendom | Typische waarde |
Kristalstructuur | FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd |
Dikte | 3,21 g/cm³ |
Hardheid | 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting) |
Korrelgrootte | 2~10μm |
Chemische zuiverheid | 99,99995% |
Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimatie temperatuur | 2700℃ |
Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
Thermische geleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
Thermische uitzetting (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VeTek Semiconductor is een professionele LPE Halfmoon SiC EPI Reactor-productfabrikant, innovator en leider in China. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor is een apparaat dat speciaal is ontworpen voor het produceren van hoogwaardige epitaxiale lagen van siliciumcarbide (SiC), voornamelijk gebruikt in de halfgeleiderindustrie. VeTek Semiconductor streeft ernaar toonaangevende technologie en productoplossingen te bieden voor de halfgeleiderindustrie en verwelkomt uw verdere vragen.
Lees verderStuur onderzoekAls professionele fabrikant en leverancier van Aixtron MOCVD Susceptor in China, wordt de Aixtron MOCVD Susceptor van Vetek Semiconductor veel gebruikt in het dunne-filmdepositieproces van de productie van halfgeleiders, vooral bij het MOCVD-proces. Vetek Semiconductor richt zich op de productie en levering van hoogwaardige Aixtron MOCVD Susceptor-producten. Stem in met uw onderzoek.
Lees verderStuur onderzoekAls professionele fabrikant en leverancier van grafietverwarmers met siliciumcarbide keramische coating in China, is Silicon Carbide Ceramic Coating Graphite Heater een krachtige verwarmer gemaakt van grafietsubstraat en gecoat met siliciumkoolstofkeramische (SiC) coating op het oppervlak. Dankzij het composietmateriaalontwerp biedt dit product uitstekende verwarmingsoplossingen bij de productie van halfgeleiders. Stem in met uw onderzoek.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een professionele fabrikant van siliciumcarbide keramische coatingverwarmers in China. De keramische coatingverwarmer van siliciumcarbide is hoofdzakelijk ontworpen voor de hoge temperaturen en zware omstandigheden bij de productie van halfgeleiders. Het ultrahoge smeltpunt, de uitstekende corrosieweerstand en de uitstekende thermische geleidbaarheid bepalen de onmisbaarheid van dit product in het halfgeleiderproductieproces. Wij hopen oprecht een langdurige zakelijke relatie met u op te bouwen.
Lees verderStuur onderzoekAls professionele fabrikant en leverancier van siliciumcarbide-keramische coatings in China, wordt de siliciumcarbide-keramische coating van Vetek Semiconductor veel gebruikt op belangrijke componenten van halfgeleiderproductieapparatuur, vooral wanneer het CVD- en PECVD-processen betreft. Stem in met uw onderzoek.
Lees verderStuur onderzoekDe EPI-susceptor van VeTek Semiconductor is ontworpen voor de veeleisende epitaxiale apparatuurtoepassingen. De zeer zuivere, met siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietstructuur biedt uitstekende hittebestendigheid, uniforme thermische uniformiteit voor consistente epitaxiale laagdikte en weerstand, en langdurige chemische weerstand. Wij kijken ernaar uit om met u samen te werken.
Lees verderStuur onderzoek