EPI-ontvanger

De EPI-susceptor van VeTek Semiconductor is ontworpen voor de veeleisende epitaxiale apparatuurtoepassingen. De zeer zuivere, met siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietstructuur biedt uitstekende hittebestendigheid, uniforme thermische uniformiteit voor consistente epitaxiale laagdikte en weerstand, en langdurige chemische weerstand. Wij kijken ernaar uit om met u samen te werken.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

VeTek Semiconductor is een professionele leider in China EPI-ontvanger, ALD Planetaire Ontvanger en TaC Coated Graphite Receiver-fabrikant. En onze EPI-susceptor is een belangrijk onderdeel vanepitaxiale groeiIn het productieproces van halfgeleiders. De belangrijkste functie ervan is het ondersteunen en verwarmen van de wafel, zodat een epitaxiale laag van hoge kwaliteit gelijkmatig op het wafeloppervlak kan worden gegroeid.

De EPI-susceptors van VeTek Semiconductors zijn meestal gemaakt van zeer zuiver grafiet en gecoat met een laag siliciumcarbide (SiC).Dit ontwerp heeft de volgende belangrijke voordelen:

● Hoge temperatuurstabiliteit: De EPI-susceptor kan stabiel blijven in een omgeving met hoge temperaturen, waardoor de uniforme groei van de epitaxiale laag wordt gegarandeerd.

● Corrosiebestendigheid: De SiC-coating heeft een uitstekende corrosieweerstand en is bestand tegen de erosie van chemische gassen, waardoor de levensduur van de bak wordt verlengd.

● Thermische geleidbaarheid: De hoge thermische geleidbaarheid van SiC-materiaal zorgt voor een uniforme temperatuurverdeling van de wafer tijdens verwarming, waardoor de kwaliteit van de epitaxiale laag wordt verbeterd.

● Afstemming van de thermische uitzettingscoëfficiënt: De thermische uitzettingscoëfficiënt van SiC is vergelijkbaar met die van grafiet, waardoor het probleem van het loslaten van de coating als gevolg van thermische uitzetting en krimp wordt vermeden.