EPI-ontvanger

VeTek Semiconductor is een professionele leider in China EPI-ontvanger, ALD planetaire ontvanger en fabrikant van TaC-gecoate grafietontvangers.

De EPI-susceptor van VeTek Semiconductor is een belangrijk onderdeel van epitaxiale groei in het productieproces van halfgeleiders. De belangrijkste functie ervan is het ondersteunen en verwarmen van de wafel, zodat een epitaxiale laag van hoge kwaliteit gelijkmatig op het wafeloppervlak kan worden gegroeid.

De EPI-susceptors van VeTek Semiconductors zijn meestal gemaakt van zeer zuiver grafiet en gecoat met een laag siliciumcarbide (SiC). Dit ontwerp heeft de volgende belangrijke voordelen:

Stabiliteit bij hoge temperaturen: De EPI-susceptor kan stabiel blijven in een omgeving met hoge temperaturen, waardoor de uniforme groei van de epitaxiale laag wordt gegarandeerd.

Corrosiebestendigheid: De SiC-coating heeft een uitstekende corrosieweerstand en is bestand tegen de erosie van chemische gassen, waardoor de levensduur van de bak wordt verlengd.

Thermische geleidbaarheid: De hoge thermische geleidbaarheid van SiC-materiaal zorgt voor een uniforme temperatuurverdeling van de wafer tijdens verwarming, waardoor de kwaliteit van de epitaxiale laag wordt verbeterd.

Afstemming van de thermische uitzettingscoëfficiënt: De thermische uitzettingscoëfficiënt van SiC is vergelijkbaar met die van grafiet, waardoor het probleem van het loslaten van de coating als gevolg van thermische uitzetting en krimp wordt vermeden.

Fundamentele fysieke eigenschappen vanEPI-ontvanger:

Productiewerkplaats CVD SiC-coating:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: