China Siliciumcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbide coatingparameter:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte	3,21 g/cm³
Hardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5 × 10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

CVD SiC-gecoate wafelvathouder

CVD SiC-gecoate wafervathouder is het belangrijkste onderdeel van de epitaxiale groeioven, die veel wordt gebruikt in MOCVD epitaxiale groeiovens. VeTek Semiconductor biedt u producten op maat. Wat uw behoeften ook zijn voor CVD SiC-gecoate wafervathouder, welkom om ons te raadplegen.

Lees verder Stuur onderzoek

Vat susceptor met CVD SiC-coating

VeTek Semiconductor CVD SiC-coating vat susceptor is het kerncomponent van de epitaxiale oven van het vattype. Met de hulp van CVD SiC-coating vat susceptor worden de kwantiteit en kwaliteit van epitaxiale groei aanzienlijk verbeterd. VeTek Semiconductor is een professionele fabrikant en leverancier van SiC Coated Barrel Susceptor, en bevindt zich op toonaangevend niveau in China en zelfs in de wereld. VeTek Semiconductor kijkt ernaar uit om een nauwe samenwerkingsrelatie met u op te bouwen in de halfgeleiderindustrie.

Lees verder Stuur onderzoek

CVD SiC-coating Wafer Epi Susceptor

VeTek Semiconductor CVD SiC-coatingwafel Epi-susceptor is een onmisbaar onderdeel voor de groei van SiC-epitaxie en biedt superieur thermisch beheer, chemische weerstand en maatvastheid. Door te kiezen voor de CVD SiC-coating wafer Epi susceptor van VeTek Semiconductor verbetert u de prestaties van uw MOCVD-processen, wat leidt tot producten van hogere kwaliteit en grotere efficiëntie in uw halfgeleiderproductieactiviteiten. Stem in met uw verdere onderzoeken.

Lees verder Stuur onderzoek

Grafiet susceptor met CVD SiC-coating

VeTek Semiconductor CVD SiC-coating grafiet susceptor is een van de belangrijke componenten in de halfgeleiderindustrie, zoals epitaxiale groei en wafelverwerking. Het wordt gebruikt in MOCVD en andere apparatuur ter ondersteuning van de verwerking en hantering van wafers en andere uiterst nauwkeurige materialen. VeTek Semiconductor beschikt over de toonaangevende productie- en productiemogelijkheden van China's SiC-gecoate grafiet susceptor en TaC Coated Graphite Susceptor, en kijkt uit naar uw overleg.

Lees verder Stuur onderzoek

CVD SiC-coating Verwarmingselement

CVD SiC-coating Verwarmingselement speelt een kernrol bij het verwarmen van materialen in PVD-ovens (Evaporation Deposition). VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant van CVD SiC-gecoate verwarmingselementen in China. We beschikken over geavanceerde CVD-coatingmogelijkheden en kunnen u op maat gemaakte CVD SiC-coatingproducten leveren. VeTek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw partner te worden op het gebied van SiC-gecoate verwarmingselementen.

Lees verder Stuur onderzoek

Grafiet roterende ontvanger

De roterende susceptor van zeer zuiver grafiet speelt een belangrijke rol bij de epitaxiale groei van galliumnitride (MOCVD-proces). VeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en leverancier van roterende grafietkroezen in China. We hebben veel hoogzuivere grafietproducten ontwikkeld op basis van hoogzuivere grafietmaterialen, die volledig voldoen aan de eisen van de halfgeleiderindustrie. VeTek Semiconductor kijkt ernaar uit om uw partner te worden op het gebied van Rotating Graphite susceptor.

Lees verder Stuur onderzoek

<1 2 3 4 5...15 >

Als professionele Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.