CVD SiC-coating Epitaxie susceptor

De CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor van VeTek Semiconductor is een nauwkeurig ontworpen hulpmiddel dat is ontworpen voor het hanteren en verwerken van halfgeleiderwafels. Deze SiC Coating Epitaxy Susceptor speelt een cruciale rol bij het bevorderen van de groei van dunne films, epilagen en andere coatings, en kan de temperatuur en materiaaleigenschappen nauwkeurig regelen. Stem in met uw verdere onderzoeken.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor is een typeMOCVD LED Epi Suceptor, dat een centrale rol speelt in de CVD-reactor. Als Epi Susceptor is het niet alleen een warmtebron, maar biedt het ook een stabiel ondersteuningsplatform voor het substraat tijdens het depositieproces.SiC-coatingkan de oxidatie en vervuiling van Graphite Susceptor in omgevingen met hoge temperaturen effectief verminderen, waardoor de hoge zuiverheid van het afgezette materiaal wordt gegarandeerd.

Basisfysieke eigenschappen van CVD SiC-coating:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte	3,21 g/cm³
Hardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m^-1·K^-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5×10^-6K^-1

CVD SiC Coating Epitaxie Susceptor Productvoordelen:

● Nauwkeurige afzetting: Met de CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor kunt u nauwkeurig gecontroleerde afzetting van dunne films en coatings bereiken om hoogwaardige en herhaalbare resultaten te verkrijgen.

● Verminderde besmetting: SiC-coating minimaliseert het risico op besmettingEpi Suceptorgebaseerd grafiet, waardoor de zuiverheid van het afgezette materiaal wordt gegarandeerd.

● Duurzaamheid: SiC-coating verbetert de oxidatieweerstand en chemische corrosieweerstand van Graphite Epitaxy Susceptor, waardoor het een langere levensduur en hogere betrouwbaarheid krijgt.

VeTek-halfgeleiderstreeft ernaar producten van hoge kwaliteit en concurrerende prijzen te leveren. Of dat nu zo isAls de EPI-ontvangerof zeer zuivere grafiet EPI susceptor, wij kunnen aan uw behoeften voldoen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te zijn.

VeTek-halfgeleiderCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Productwinkels: