China Siliciumcarbide coating Fabrikant, leverancier, fabriek

VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.

Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.

Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.

Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.

Reactoronderdelen die we kunnen doen:

Siliciumcarbide Coating verschillende unieke voordelen:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor siliciumcarbide coatingparameter:

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating
Eigendom	Typische waarde
Kristalstructuur	FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd
Dikte	3,21 g/cm³
Hardheid	2500 Vickers-hardheid (500 g belasting)
Korrelgrootte	2~10μm
Chemische zuiverheid	99,99995%
Warmtecapaciteit	640 J·kg-1·K-1
Sublimatie temperatuur	2700℃
Buigsterkte	415 MPa RT 4-punts
Young's Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300℃
Thermische geleidbaarheid	300W·m-1·K-1
Thermische uitzetting (CTE)	4,5 × 10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

SiC-gecoat voetstuk

Vetek Semiconductor is professioneel in het vervaardigen van CVD SiC-coating en TaC-coating op grafiet- en siliciumcarbidemateriaal. Wij bieden OEM- en ODM-producten zoals een SiC-gecoat voetstuk, waferdrager, waferhouder, waferdragerbak, planetaire schijf enzovoort. Met een cleanroom- en zuiveringsapparaat van 1000 kwaliteit kunnen we u producten voorzien van een onzuiverheid van minder dan 5 ppm. Ik kijk ernaar uit om te horen binnenkort van jou.

Lees verder Stuur onderzoek

Inlaatring met SiC-coating

Vetek Semiconductor blinkt uit in nauwe samenwerking met klanten om op maat gemaakte ontwerpen voor SiC Coating Inlet Ring te maken, afgestemd op specifieke behoeften. Deze inlaatring met SiC-coating zijn zorgvuldig ontworpen voor diverse toepassingen, zoals CVD SiC-apparatuur en epitaxie van siliciumcarbide. Voor op maat gemaakte SiC Coating Inlet Ring-oplossingen kunt u contact opnemen met Vetek Semiconductor voor persoonlijke assistentie.

Lees verder Stuur onderzoek

SiC-gecoate steunring

VeTek Semiconductor is een professionele Chinese fabrikant en leverancier, die voornamelijk SiC-gecoate steunringen, CVD-siliciumcarbide (SiC) coatings, tantaalcarbide (TaC) coatings, bulk SiC, SiC-poeders en zeer zuivere SiC-materialen produceert. We streven ernaar perfecte technische ondersteuning en ultieme productoplossingen voor de halfgeleiderindustrie te bieden. Neem gerust contact met ons op.

Lees verder Stuur onderzoek

Wafel Chuck

De wafer chuck van Vetek Semiconductor speelt een cruciale rol in de productie van halfgeleiders en maakt snelle uitvoer van hoge kwaliteit mogelijk. Met interne productie, concurrerende prijzen en robuuste R&D-ondersteuning blinkt Vetek Semiconductor uit in OEM/ODM-diensten voor precisiecomponenten. Ik kijk uit naar uw aanvraag.

Lees verder Stuur onderzoek

ALD Planetaire Susceptor

ALD-proces, betekent Atomic Layer Epitaxy-proces. Fabrikanten van Vetek Semiconductor- en ALD-systemen hebben SiC-gecoate ALD-planetaire susceptors ontwikkeld en geproduceerd die voldoen aan de hoge eisen van het ALD-proces om de luchtstroom gelijkmatig over het substraat te verdelen. Tegelijkertijd zorgt de zeer zuivere CVD SiC-coating van Vetek Semiconductor voor zuiverheid in het proces. Welkom om de samenwerking met ons te bespreken.

Lees verder Stuur onderzoek

Susceptor met SiC-coating

Vetek Semiconductor richt zich op onderzoek, ontwikkeling en industrialisatie van CVD SiC-coating en CVD TaC-coating. Als we de SiC-coating susceptor als voorbeeld nemen, wordt het product zeer nauwkeurig verwerkt met hoge precisie, dichte CVD SIC-coating, hoge temperatuurbestendigheid en sterke corrosieweerstand. Een onderzoek naar ons is welkom.

Lees verder Stuur onderzoek

<...7 8 9 10 11...15 >

Als professionele Siliciumcarbide coating fabrikant en leverancier in China hebben we onze eigen fabriek. Of u nu aangepaste services nodig heeft om aan de specifieke behoeften van uw regio te voldoen of geavanceerde en duurzame Siliciumcarbide coating uit China wilt kopen, u kunt een bericht voor ons achterlaten.