SiC-gecoate steunring

VeTek-halfgeleider, een toonaangevende fabrikant en leverancier gevestigd in China, is gespecialiseerd in de productie van een reeks producten, waaronderSteunringen met SiC-coating, CVD-siliciumcarbidecoatings, tantaalcarbidecoatings, bulk SiC, SiC-poeders en zeer zuivere SiC-materialen. Onze toewijding ligt in het bieden van uitgebreide technische ondersteuning en optimale productresoluties op maat voor de halfgeleidersector. Neem gerust contact met ons op voor meer informatie en hulp.

VeTek-halfgeleider'SSteunringen met SiC-coatingzijn een nieuwe generatie hittebestendige materialen. Als corrosiebestendige coatings, oxidatiebestendige coatings en slijtvaste coatings kunnen ze worden gebruikt in omgevingen boven 1650 ℃ en worden ze veel gebruikt in halfgeleidervelden.

De hoogwaardige eigenschappen vanSteunringen met SiC-coatingspelen een zeer belangrijke rol in de epitaxiale groei van halfgeleidercomponenten van de derde generatie.

Het handhaven van temperatuuruniformiteit: SiC-gecoate steunringen hebben een uitstekende thermische geleidbaarheid en kunnen zorgen voor een uniforme temperatuurverdeling tijdens epitaxiale groei. Dit helpt de thermische gradiënten en spanningen op het waferoppervlak te verminderen, waardoor de kwaliteit van de epitaxiale laag wordt verbeterd.

Extreme chemische stabiliteit: Tijdens het epitaxiale groeiproces,Steunringen met SiC-coatingzijn in staat om chemische aanvallen van de reactiegassen te weerstaan, waardoor de levensduur van de steunringen wordt verlengd en de integriteit van het proces behouden blijft. Deze chemische stabiliteit helpt het risico op besmetting te verminderen en de zuiverheid en prestaties van halfgeleiderapparaten te verbeteren.

Nauwkeurige positionering: Met SiC gecoate steunringen kunnen de precieze positionering van de wafer behouden, wat van cruciaal belang is voor het bereiken van een uniforme laagafzetting. Deze nauwkeurige positionering helpt de consistentie van de dikte en kwaliteit van de epitaxiale laag te garanderen.

Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating:

VeTek halfgeleiderproductiewinkel:

Overzicht van de epitaxie-industrieketen van halfgeleiderchips: