VeTek Semiconductor is gespecialiseerd in de productie van ultrazuivere siliciumcarbidecoatingproducten. Deze coatings zijn ontworpen om te worden aangebracht op gezuiverde grafiet-, keramiek- en vuurvaste metalen componenten.
Onze hoogzuivere coatings zijn voornamelijk bedoeld voor gebruik in de halfgeleider- en elektronica-industrie. Ze dienen als een beschermende laag voor waferdragers, susceptors en verwarmingselementen en beschermen ze tegen corrosieve en reactieve omgevingen die voorkomen bij processen zoals MOCVD en EPI. Deze processen zijn een integraal onderdeel van de waferverwerking en de productie van apparaten. Bovendien zijn onze coatings zeer geschikt voor toepassingen in vacuümovens en monsterverwarming, waar sprake is van hoogvacuüm, reactieve en zuurstofomgevingen.
Bij VeTek Semiconductor bieden we een uitgebreide oplossing met onze geavanceerde machinewerkplaatsmogelijkheden. Dit stelt ons in staat de basiscomponenten te vervaardigen uit grafiet, keramiek of vuurvaste metalen en de keramische coatings SiC of TaC in eigen huis aan te brengen. We bieden ook coatingdiensten voor door de klant geleverde onderdelen, waardoor we flexibiliteit garanderen om aan uiteenlopende behoeften te voldoen.
Onze siliciumcarbidecoatingproducten worden veel gebruikt in Si-epitaxie, SiC-epitaxie, MOCVD-systeem, RTP/RTA-proces, etsproces, ICP/PSS-etsproces, proces van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV LED enz., die is aangepast aan apparatuur van LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI enzovoort.
Fysische basiseigenschappen van CVD SiC-coating | |
Eigendom | Typische waarde |
Kristalstructuur | FCC β-fase polykristallijn, voornamelijk (111) georiënteerd |
Dikte | 3,21 g/cm³ |
Hardheid | 2500 Vickers-hardheid (500 g belasting) |
Korrelgrootte | 2~10μm |
Chemische zuiverheid | 99,99995% |
Warmtecapaciteit | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimatie temperatuur | 2700℃ |
Buigsterkte | 415 MPa RT 4-punts |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bocht, 1300℃ |
Thermische geleidbaarheid | 300W·m-1·K-1 |
Thermische uitzetting (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VeTek Semiconductor richt zich op onderzoek, ontwikkeling en industrialisatie van CVD-SiC-bulkbronnen, CVD SiC-coatings en CVD TaC-coatings. Als we CVD SiC-blok voor SiC-kristalgroei als voorbeeld nemen, is de productverwerkingstechnologie geavanceerd, is de groeisnelheid snel, is de weerstand tegen hoge temperaturen en is de corrosieweerstand sterk. Welkom om te informeren.
Lees verderStuur onderzoekHet ultrazuivere siliciumcarbide (SiC) van Vetek Semiconductor, gevormd door chemische dampafzetting (CVD), kan worden gebruikt als bronmateriaal voor het laten groeien van siliciumcarbidekristallen door middel van fysisch damptransport (PVT). Bij SiC Crystal Growth New Technology wordt het bronmateriaal in een smeltkroes geladen en gesublimeerd op een kiemkristal. Gebruik de afgedankte CVD-SiC-blokken om het materiaal te recyclen als bron voor het kweken van SiC-kristallen. Welkom bij het aangaan van een partnerschap met ons.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van CVD SiC-douchekoppen in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-materiaal. CVD SiC-douchekop wordt gekozen als focusringmateriaal vanwege de uitstekende thermochemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte en weerstand tegen plasma-erosie. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor is een toonaangevende fabrikant en innovator van SiC-douchekoppen in China. We zijn al vele jaren gespecialiseerd in SiC-materiaal. SiC-douchekop wordt gekozen als focusringmateriaal vanwege de uitstekende thermochemische stabiliteit, hoge mechanische sterkte en weerstand tegen plasma-erosie Wij kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor, een toonaangevende fabrikant van CVD SiC-coatings, biedt SiC Coating Set Disc aan in Aixtron MOCVD-reactoren. Deze SiC-coatingsetschijven zijn gemaakt van zeer zuiver grafiet en zijn voorzien van een CVD SiC-coating met een onzuiverheid van minder dan 5 ppm. Wij zijn blij met vragen over dit product.
Lees verderStuur onderzoekVeTek Semiconductor, een gerenommeerde fabrikant van CVD SiC-coating, biedt u het geavanceerde SiC Coating Collector Center in het Aixtron G5 MOCVD-systeem. Dit SiC Coating Collector Center is zorgvuldig ontworpen met zeer zuiver grafiet en beschikt over een geavanceerde CVD SiC-coating, die hoge temperatuurstabiliteit, corrosieweerstand en hoge zuiverheid garandeert. Ik kijk ernaar uit om met u samen te werken!
Lees verderStuur onderzoek