Wat is TaC-coating?

TaC Coating (Tantalum Carbide Coating) is een hoogwaardig coatingmateriaal dat wordt geproduceerd door middel van een chemisch dampdepositieproces (CVD). Vanwege de uitstekende eigenschappen van TaC-coating onder extreme omstandigheden, wordt het veel gebruikt in het productieproces van halfgeleiders, vooral in apparatuur en componenten die een hoge temperatuur en een sterk corrosieve omgeving vereisen. TaC Coating wordt meestal gebruikt om substraten (zoals grafiet of keramiek) te beschermen tegen schade door hoge temperaturen, corrosieve gassen en mechanische slijtage.

Producteigenschappen en voordelen

Extreem hoge thermische stabiliteit:

Functiebeschrijving: TaC-coating heeft een smeltpunt van meer dan 3880 ° C en kan stabiliteit behouden zonder ontleding of vervorming in een omgeving met extreem hoge temperaturen.

Voordeel: Dit maakt het een onmisbaar materiaal in halfgeleiderapparatuur voor hoge temperaturen, zoals CVD TaC Coating en TaC Coated Susceptor, vooral voor toepassingen in MOCVD-reactoren, zoals Aixtron G5-apparatuur.

Uitstekende corrosieweerstand:

Functiebeschrijving: TaC heeft een extreem sterke chemische inertie en kan effectief weerstand bieden aan de erosie van corrosieve gassen zoals chloriden en fluoriden.

Voordelen: Bij halfgeleiderprocessen waarbij zeer corrosieve chemicaliën betrokken zijn, beschermt TaC Coating de componenten van de apparatuur tegen chemische aantasting, verlengt de levensduur en verbetert de processtabiliteit, vooral bij de toepassing van siliciumcarbide waferboot en andere belangrijke componenten.

Uitstekende mechanische hardheid:

Functiebeschrijving: De hardheid van de TaC-coating is maar liefst 9-10 Mohs, waardoor deze bestand is tegen mechanische slijtage en hoge temperatuurbelasting.

Voordeel: De hoge hardheid maakt TaC Coating bijzonder geschikt voor gebruik in omgevingen met hoge slijtage en hoge spanning, waardoor de stabiliteit en betrouwbaarheid van apparatuur op lange termijn onder zware omstandigheden wordt gegarandeerd.

Lage chemische reactiviteit:

Functiebeschrijving: Vanwege zijn chemische inertheid kan TaC Coating een lage reactiviteit handhaven in omgevingen met hoge temperaturen en onnodige chemische reacties met reactieve gassen vermijden.

Voordeel: Dit is vooral belangrijk in het halfgeleiderproductieproces omdat het de zuiverheid van de procesomgeving en hoogwaardige afzetting van materialen garandeert.

De rol van TaC Coating bij de verwerking van halfgeleiders

Bescherming van belangrijke componenten van apparatuur:

Functiebeschrijving: TaC-coating wordt veel gebruikt in belangrijke componenten van halfgeleiderproductieapparatuur, zoals de TaC Coated Susceptor, die onder extreme omstandigheden moeten werken. Door te coaten met TaC kunnen deze componenten gedurende lange tijd in omgevingen met hoge temperaturen en corrosieve gassen functioneren zonder beschadigd te raken.

Verleng de levensduur van apparatuur:

Functiebeschrijving: In MOCVD-apparatuur zoals Aixtron G5 kan TaC Coating de duurzaamheid van apparatuurcomponenten aanzienlijk verbeteren en de noodzaak voor onderhoud en vervanging van apparatuur als gevolg van corrosie en slijtage verminderen.

Verbeter de processtabiliteit:

Functiebeschrijving: Bij de productie van halfgeleiders zorgt TaC Coating voor de uniformiteit en consistentie van het afzettingsproces door een stabiele hoge temperatuur en chemische omgeving te bieden. Dit is vooral belangrijk bij epitaxiale groeiprocessen zoals siliciumepitaxie en galliumnitride (GaN).

Verbeter de procesefficiëntie:

Functiebeschrijving: Door de coating op het oppervlak van de apparatuur te optimaliseren, kan TaC Coating de algehele efficiëntie van het proces verbeteren, het aantal defecten verminderen en de productopbrengst verhogen. Dit is van cruciaal belang voor de vervaardiging van halfgeleidermaterialen met hoge precisie en hoge zuiverheid.

De hoge thermische stabiliteit, uitstekende corrosieweerstand, mechanische hardheid en lage chemische reactiviteit die TaC Coating vertoont tijdens halfgeleiderverwerking maken het een ideale keuze voor het beschermen van componenten van halfgeleiderproductieapparatuur. Nu de vraag van de halfgeleiderindustrie naar hoge temperatuur, hoge zuiverheid en efficiënte productieprocessen blijft toenemen, heeft TaC Coating brede toepassingsmogelijkheden, vooral in apparatuur en processen waarbij CVD TaC Coating, TaC Coated Susceptor en Aixtron G5 betrokken zijn.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD is een toonaangevende leverancier van geavanceerde coatingmaterialen voor de halfgeleiderindustrie. Ons bedrijf richt zich op het ontwikkelen van geavanceerde oplossingen voor de industrie.

Ons belangrijkste productaanbod omvat CVD-siliciumcarbide (SiC) coatings, tantaalcarbide (TaC) coatings, bulk SiC, SiC-poeders en zeer zuivere SiC-materialen, SiC-gecoate grafiet susceptor, voorverwarmingsringen, TaC-gecoate afleidingsring, halvemaanonderdelen, enz. ., de zuiverheid is lager dan 5 ppm, kan aan de eisen van de klant voldoen.

VeTek semiconductor richt zich op het ontwikkelen van geavanceerde technologie en productontwikkelingsoplossingen voor de halfgeleiderindustrie.Wij hopen oprecht uw langetermijnpartner in China te worden.